[发明专利]基板湿处理设备及回收环

权利要求书

1.一种基板湿处理设备，其特征在于，包含：

旋转台，配置为放置基板；

液体供应装置，设置在所述旋转台上方，且配置为对所述基板施加工艺液体；

液体回收装置，环绕地设置在所述旋转台的周围，并且可沿着垂直方向相对所述旋转台移动，其中所述液体回收装置包含回收环，所述回收环配置为收集所述工艺液体及其混合的气液混合物，以及所述回收环包含多个区域和多个抽气口，且其中之一抽气口对应设置在其中之一区域；以及

多个气体回收装置，分别与所述回收环的所述多个抽气口对应连接，以收集所述回收环的对应区域内的所述气液混合物。

2.如权利要求1所述的基板湿处理设备，其特征在于，每一所述气体回收装置包含：

风箱，包含第一连接口和第二连接口，其中所述第一连接口与所述回收环的其中之一所述抽气口连接，使得所述回收环内的所述气液混合物通过所述第一连接口进入所述风箱的内部；

排气管，与所述风箱的所述第二连接口连接；以及

集气箱，与所述排气管连接，配置为收集所述气液混合物以将其排出。

3.如权利要求2所述的基板湿处理设备，其特征在于，所述液体回收装置包含多个沿着所述垂直方向堆叠设置的所述回收环，以及每一所述气体回收装置包含多个所述风箱和多个所述排气管，并且所述多个风箱通过所述多个排气管连接至所述集气箱，其中所述多个风箱分别与所述多个回收环的相同区域的抽气口对应连接。

4.如权利要求1所述的基板湿处理设备，其特征在于，所述回收环包含多个挡块，配置为将所述回收环分隔为所述多个区域，并且任两相邻的所述区域内的所述气液混合物无法通过所述挡块而互相流通。

5.如权利要求4所述的基板湿处理设备，其特征在于，所述回收环还包含：

接收口，与所述旋转台对准；以及

分隔板，设置在所述回收环的内部以分隔出内环空间和外环空间，其中所述内环空间承接从所述接收口进入的所述工艺液体及其混合的所述气液混合物，并且所述分隔板阻挡所述工艺液体从所述内环空间流至所述外环空间，以及所述分隔板上形成有多个通孔，使得所述内环空间内的所述气液混合物通过所述多个通孔进入所述外环空间，其中所述多个挡块设置在所述外环空间。

6.如权利要求5所述的基板湿处理设备，其特征在于，所述回收环还包含一液体收集口，与所述内环空间连通，配置为让所述工艺液体从所述液体收集口排出。

7.如权利要求5所述的基板湿处理设备，其特征在于，所述回收环还包含：

环形上盖；

环形底板，与所述环形上盖对应设置；以及

外环壁，与所述环形上盖的外周缘和所述环形底板的外周缘连接，其中所述多个抽气口设置在所述外环壁上，且与所述多个气体回收装置对应连接，其中所述分隔板设置在所述环形上盖和所述环形底板之间，以及所述接收口位在所述环形上盖的内周缘和所述环形底板的内周缘之间。

8.如权利要求1所述的基板湿处理设备，其特征在于，所述液体供应装置包含多个喷嘴。

9.一种用于基板湿处理设备的回收环，其特征在于，包含：

环形上盖；

环形底板，与所述环形上盖对应设置；

接收口，位在所述环形上盖的内周缘和所述环形底板的内周缘之间，并且与所述旋转台对准；以及

外环壁，与所述环形上盖的外周缘和所述环形底板的外周缘连接，其中所述外环壁设置有多个抽气口。

10.如权利要求9所述的用于基板湿处理设备的回收环，其特征在于，所述回收环还包含多个挡块，设置在所述环形上盖与所述环形底板之间，配置为将所述回收环分隔为所述多个区域，且其中之一抽气口对应设置在其中之一区域。