[发明专利]一种掩膜板及其制作方法

说明书

本申请提供一种掩膜板及其制作方法，用于改善因掩膜板框架与遮挡板之间存在的间隙对OLED显示面板良率的影响。掩膜板包括：框架、至少一个掩膜片、遮挡板。框架包括多个边框，多个边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的框架。其中，多个边框包括第一边框。掩膜片跨过框架的镂空区，与框架的第一边框固定。遮挡板具有多个第二镂空区，沿框架厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的正投影范围内。遮挡板设置于掩膜片靠近框架一侧，且遮挡板固定于框架上。框架的正投影的内边缘位于遮挡板的正投影的范围内。框架与遮挡板重叠的第一区域的厚度小于框架中用于与掩膜片固定的第二区域的厚度。第二区域靠近框架的外边缘。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法。

背景技术

有机发光二极管(organic light-emitting diode，OLED)具有自发光、低能耗、轻薄、高色彩饱和度等优点，而且可基于柔性材料制备成柔性显示装置。广泛应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。

OLED能自发光，源于自发光的有机材料，自发光的有机材料主要采用蒸镀的方法沉积在基板上，为了形成不同的发光材料图案，需要使用掩膜板。

发明内容

本申请的实施例提供一种掩膜板及其制作方法，用于改善因掩膜板框架与遮挡板之间存在的间隙对OLED显示面板良率的影响。

为达到上述目的，本申请的实施例采用如下技术方案：

本申请实施例的第一方面提供一种掩膜板。掩膜板包括：框架、至少一个掩膜片、遮挡板。框架包括多个边框，多个边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的框架。其中，多个边框包括第一边框。掩膜片跨过框架的镂空区，与框架的第一边框固定。遮挡板具有多个第二镂空区，沿框架厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的正投影范围内。遮挡板设置于掩膜片靠近框架一侧，且遮挡板固定于框架上。框架的正投影的内边缘位于遮挡板的正投影的范围内。框架与遮挡板重叠的第一区域的厚度小于框架中用于与掩膜片固定的第二区域的厚度。第二区域靠近框架的外边缘。本申请实施例提供的掩膜板，沿垂直框架任一边框的方向，遮挡板与该边框无间隙，避免发光材料从间隙中扩散到基板上对产品良率造成影响。

可选的，第二区域的厚度与第一区域的厚度之差等于遮挡板的厚度。可避免蒸镀时，发光材料从遮挡板和掩膜片之间的缝隙扩散，影响发光材料在基板上沉积位置的精度。

可选的，遮挡板包括多个边框遮挡条，多个边框遮挡条与多个边框一一对应。边框遮挡条在边框的上的投影位于与其对应的边框所在区域内。这样一来，可增大有效蒸镀区域的面积，在进行产品设计时，可以使屏幕的位置向基板边缘扩展，提高基板的利用率。

可选的，遮挡板包括多个边框遮挡条，多个边框遮挡条与多个边框一一对应。对于任一边框遮挡条，沿垂直边框遮挡条的方向，边框遮挡条和与其对应的边框的投影部分重叠。可以避免边框边缘对蒸镀精度造成的影响。

可选的，框架具有第一厚度区域和第二厚度区域，第一厚度区域的第一厚度小于第二厚度区域的第二厚度。第一厚度区域包括第一区域以及用于容置遮挡板引脚的第三区域，第一区域与第三区域连接。遮挡板引脚用于在固定遮挡板的过程中与张网机固定。第二厚度区域包括所述第二区域。

可选的，多个边框还包括至少两个第二边框。遮挡板与第一边框和第二边框固定。第二边框的厚度为第一厚度。

可选的，第一厚度区域还包括用于装配遮挡板的装配余量区域。装配余量区域位于第一区域和第二厚度区域之间，以及位于第三区域与第二厚度区域之间。装配余量区域与第一区域和第二区域连接。框架上设置装配余量区域，可避免因加工误差导致遮挡板无法在框架上张网和固定。

可选的，掩膜板上设置有对位孔，对位孔与掩膜片和遮挡板无交叠。