[发明专利]一种滤波器、信号处理设备及制造所述滤波器的方法

权利要求书

1.一种滤波器，包括：多个谐振器，所述多个谐振器包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，所述串联谐振器彼此串联连接，所述并联谐振器一端连接至两个串联谐振器的连接点，另一端连接电感，所述电感接地，其特征在于，所述多个串联谐振器包括一个或多个指定串联谐振器，所述指定串联谐振器与至少一个第一谐振器并联；

和/或，

所述多个并联谐振器中包括一个或多个指定并联谐振器，所述指定并联谐振器与至少一个第二谐振器或者电容串联；

所述多个谐振器按照谐振频率的不同分别设置于不同的晶圆上。

2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述指定串联谐振器的谐振频率大于所述第一谐振器的谐振频率；

所述指定串联谐振器与其他所述串联谐振器设置于第一晶圆上，所述第一谐振器与所述并联谐振器设置于第二晶圆上。

3.根据权利要求1或2所述的滤波器，其特征在于，所述指定串联谐振器的反谐振频率与所述第一谐振器的谐振频率之差小于预设值。

4.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述指定并联谐振器的谐振频率小于所述第二谐振器的谐振频率；

所述第二谐振器与所述串联谐振器设置于第一晶圆上，所述指定并联谐振器与其他所述并联谐振器设置于第二晶圆上。

5.根据权利要求4所述的滤波器，其特征在于，所述指定并联谐振器的反谐振频率与所述第二谐振器的谐振频率之差小于预设值。

6.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述指定并联谐振器与电容串联时，所述电容的一端与相邻两个串联谐振器的节点相连，所述电容的另一端与所述指定并联谐振器的一端相连接，所述指定并联谐振器的另一端与接地电感相连接；

所述串联谐振器设置于第一晶圆上，所述第一谐振器和所述电容、所述指定并联谐振器和其他所述并联谐振器设置于第二晶圆上。

7.一种信号处理设备，其特征在于，包括：信号输入电路、信号输出电路和如权利要求1-6中任一项所述的滤波器；所述信号输入电路与所述滤波器相连接，所述滤波器与所述信号输出电路相连接。

8.一种滤波器制造的方法，所述滤波器包括：多个谐振器，所述多个谐振器包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，所述串联谐振器彼此串联连接，所述并联谐振器一端连接至两个串联谐振器的连接点，另一端连接电感，所述电感接地，其特征在于，所述方法包括：

设置所述多个串联谐振器包括一个或多个指定串联谐振器，所述指定串联谐振器与至少一个第一谐振器并联；

和/或，

所述多个并联谐振器中包括一个或多个指定并联谐振器，所述指定并联谐振器与至少一个第二谐振器或者电容串联；

将所述多个谐振器按照谐振频率的不同分别设置于不同的晶圆上。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：

设置所述指定串联谐振器的谐振频率大于所述第一谐振器的谐振频率；

所述将所述多个谐振器按照谐振频率的不同分别设置于不同的晶圆上，包括：

设置所述指定串联谐振器与其他所述串联谐振器设置于第一晶圆上，所述第一谐振器与所述并联谐振器设置于第二晶圆上。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，还包括：

设置所述指定串联谐振器的反谐振频率与所述第一谐振器的谐振频率之差小于预设值。

11.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：

设置所述指定并联谐振器的谐振频率小于所述第二谐振器的谐振频率；

所述将所述多个谐振器按照谐振频率的不同分别设置于不同的晶圆上，包括：

将所述第二谐振器与所述串联谐振器设置于第一晶圆上，所述指定并联谐振器与其他所述并联谐振器设置于第二晶圆上。