[发明专利]酸性过氧化氢水溶液组合物在审
申请号: | 202010008890.6 | 申请日: | 2020-01-06 |
公开(公告)号: | CN111455388A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 李虹仪;石育旻;陈培珊 | 申请(专利权)人: | 达兴材料股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 孙梵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 酸性 过氧化氢 水溶液 组合 | ||
一种酸性过氧化氢水溶液组合物,包含过氧化氢、酸碱调整剂以及氨基酸。酸碱调整剂包含酸及有机碱,氨基酸具有如式(I)所示的结构,酸性过氧化氢水溶液组合物的酸碱值大于或等于3.5且小于或等于4.6,基于酸性过氧化氢水溶液组合物为100重量百分比,酸碱调整剂的含量为10重量百分比至35重量百分比,氨基酸的含量为0.08重量百分比至氨基酸的溶解度。藉此,有利于提升过氧化氢的稳定性,并有利于使用萃取方式除去金属离子以进行废液处理或重新使用。
【技术领域】
本发明涉及一种过氧化氢水溶液组合物,且特别是涉及一种酸性过氧化氢水溶液组合物。
【背景技术】
过氧化氢具有很强的金属氧化性,常作为金属表面处理剂或是蚀刻液中的氧化剂,但由于过氧化氢具有易分解的特性,在遇热、遇碱或混入金属离子时,易加速过氧化氢的分解速度,进而造成大量气体产生而有爆炸危险。
在使用蚀刻液进行蚀刻时,被蚀刻物中的金属溶解后会以离子型态(即形成金属离子)进入蚀刻液中,而加速过氧化氢的分解,导致蚀刻液的蚀刻速率及质量随着金属离子浓度的升高而无法控制,严重者甚至可能导致爆炸。如此一来,使用者需在蚀刻液到达耐受金属离子浓度时进行更换,以确保蚀刻质量与安全性,因而不利于降低生产成本,且会产生大量废液。
为延长使用蚀刻液的寿命,可在蚀刻液中加入稳定剂,例如无机磷酸盐、有机磷酸或含多官能基羧酸等稳定剂,以提升过氧化氢的稳定性,前述稳定剂大多是利用稳定剂与金属离子产生螯合而减缓过氧化氢的分解速率。
然而,当稳定剂对金属离子的螯合能力良好,虽然可提升过氧化氢的稳定性,但当蚀刻液达到耐受金属离子浓度而需更换时,此蚀刻液无法藉由萃取方法直接将金属离子有效并快速移除再进行废液处理或重新使用,只能稀释后添加混凝剂进行化学混凝处理,导致产生的废液量大增,对环境不友善。
【发明内容】
本发明的一目的是提供一种酸性过氧化氢水溶液组合物,藉此,有利于提升过氧化氢的稳定性,并有利于使用萃取方式除去金属离子以进行废液处理或重新使用。
依据本发明一实施方式,提供一种酸性过氧化氢水溶液组合物,包含过氧化氢、酸碱调整剂以及氨基酸。酸碱调整剂包含酸及有机碱。氨基酸具有如式(I)所示的结构:
CH3(CH2)mS(CH2)n-CH(NH2)-COOH (I),
其中,m为0至1的整数,n为1至3的整数,酸性过氧化氢水溶液组合物的酸碱值大于或等于3.5且小于或等于4.6,基于酸性过氧化氢水溶液组合物为100重量百分比,酸碱调整剂的含量为10重量百分比至35重量百分比,氨基酸的含量为0.08重量百分比至氨基酸的溶解度。
【附图说明】
为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂,所附图式的说明如下:
图1为实施例2~4以及比较例11的衰减率与pH值的关系图;
图2为实施例5~8的衰减率与甲硫氨酸的含量的关系图;以及
图3为甲硫氨酸不同添加量配合不同pH值时过氧化氢衰减率的评断结果。
【具体实施方式】
本发明中,有时以键线式(skeleton formula)表示化合物结构,此种表示法可以省略碳原子、氢原子以及碳氢键。倘若,结构式中有明确绘出官能基的,则以绘示者为准。
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