[发明专利]中介板、插座、插座组装体以及线路板组装体

说明书

本发明提供能实现低成本化的中介板以及插座。插座(20)具备：第一接触探针(21)，其具有能与DUT(90)的第一端子(91)接触的第一端部；第二接触探针(22)，其具有能与DUT(90)的第二端子(92)接触的第二端部；以及内侧壳体(23)，其以第一端部和第二端部实质上位于同一假想平面(VP)上的方式保持第一以及第二接触探针(21、22)，第二接触探针(22)的长度(Lsubgt;2/subgt;)短于第一接触探针(21)的长度(Lsubgt;1/subgt;)。中介板(30)具备：基板(31)，其具有能供第一接触探针(21)插入的贯通孔(311)；以及布线图案(32)，其设置于基板(31)，布线图案(32)具有能供第二接触探针(22)接触的焊盘(321)。

技术领域

本发明涉及用于半导体集成电路元件等的被试验器件(DUT：Device Under Test)的试验的中介板(interposer)及插座、以及具备它们的插座组装体及线路板组装体。

背景技术

将具备与被检査部件的外部端子电连接的连接端子的插座安装至测试头的负载板的技术是已知的(例如参照专利文献1(段落[0038]以及图1))。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2013-234912号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

然而，存在如下问题：在使高频信号用的电路等精细的电路夹设于插座与测试头之间的情况下，在上述技术中，需要在负载板上形成该电路，导致负载板的高成本化。

本发明要解决的课题是提供能实现低成本化的中介板及插座、以及具备它们的插座组装体以及线路板组装体。

(用于解决课题的技术方案)

[1]本发明所涉及的中介板夹设在插座与线路板之间，所述中介板具备：基板，其具有能供所述插座的第一触头插入的第一贯通孔；以及第一导电路径，其设置于所述基板，所述第一导电路径具有能供所述插座的第二触头接触的第一接触部分。

[2]在上述发明中，可以是，所述中介板还具备与所述第一导电路径连接的电路。

[3]在上述发明中，可以是，所述中介板还具备连接器，所述连接器安装于所述基板，并连接所述第一导电路径。

[4]本发明所涉及的插座对被试验器件DUT进行电连接，所述插座具备：第一触头，其具有能与所述DUT的第一端子接触的第一端部；第二触头，其具有能与所述DUT的第二端子接触的第二端部；以及保持构件，其以所述第一端部和所述第二端部实质上位于同一假想平面上的方式保持所述第一触头和所述第二触头，所述第二触头具有比所述第一触头的长度短的长度。

[5]在上述发明中，可以是，所述插座还具备空气层形成单元，所述空气层形成单元在所述保持构件与中介板之间形成空气层。

[6]本发明所涉及的插座组装体具备：上述中介板；以及插座，其能对被试验器件DUT进行电连接，并安装有所述中介板，所述插座具备：第一触头，其具有能与所述DUT的第一端子接触的第一端部，且被插入至所述中介板的所述第一贯通孔中；第二触头，其具有能与所述DUT的第二端子接触的第二端部，并与所述中介板的所述第一接触部分接触；以及保持构件，其以所述第一端部和所述第二端部实质上位于同一平面上的方式保持所述第一触头和所述第二触头，第二触头具有比所述第一触头的长度短的长度。

[7]在上述发明中，可以是，在所述保持构件与所述中介板之间形成有空气层。

[8]在上述发明中，可以是，所述中介板的所述基板具有从所述插座露出的露出区域，所述连接器以相对于所述基板而位于与所述插座为相同的一侧的方式设置于所述露出区域。