[发明专利]一种应用于真空扩散焊接中间过渡层的制备方法

权利要求书

1.一种应用于真空扩散焊接中间过渡层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤，

a、将工件放入汽油中浸泡20-30min，得A品，

b、清洗A品1-3min，得B品，

c、用15%-20%浓度的HNO₃溶液酸洗B品1-2min，得C品，

d、清洗C品，得D品，

e、3%-5%浓度的HCl溶液酸洗D品1-2min，得E品，

f、清洗E品，得F品，

g、酒精清洗F品，得G品，

h、干燥G品，得H品，

i、先将H品挂到溅射腔体内的工件架上；再用吸尘器清除溅射腔体内的灰尘；再对溅射腔体抽真空；使溅射腔体内的真空度≤5.0×10^-3 Pa；再利用加热管使溅射腔体内的温度升到100℃，保温，直至使溅射腔体内各处温度均匀；得I品，

j、用霍尔源清洗I品，得J品，

k、离子轰击J品，使J品活化，得K品，

l、K品预镀膜，得L品，

m、L品镀膜，得成品；

所述的步骤h，是将G品先进行脱水，再进行吹干，得H品；

所述的步骤d，是用自来水喷淋C品，得D品；

所述的步骤f，是先用自来水喷淋E品3min，得E1品，再将E1品用去离子水漂洗1-2min，得F品；

所述的步骤g，是用酒精超声波清洗F品两次，每次时间8-12min，得G品；

所述步骤j，是先向溅射腔体内通入氩气，直至溅射腔体内的气压达到0.45Pa；然后以霍尔源的电源辉光清洗I品，霍尔源功率1.4KW；得J品；

所述的步骤k，是先将溅射腔体内的气压调节至0.6Pa；再启动工件架，使工件架以10-20度/每秒的速度转动；再调节偏压，使金属靶的直流电源功率达到3.2KW；再打开金属靶挡板，使溅射铜离子轰击到J品，使J品活化；得K品；

所述的步骤l，是先将溅射腔体内的气压调节至0.6Pa；再调节偏压，使金属靶的直流电源功率达到3.2KW；再在150-180min内向工件表面预镀铜，得L品；

所述步骤m，是先将溅射腔体内的气压调节至0.6Pa；再调节偏压，使金属靶直流电源功率达到3.2KW，使L品表面开始沉积铜层，铜层厚度达到7-9μm后，得L1品；再关闭金属靶直流电源、偏压、金属靶挡板和加热管；溅射腔体内温度冷却至60℃以下后，得成品。