[发明专利]一种用于卸载和传送硅片的装置

权利要求书

1.一种用于卸载和传送硅片的装置，包括电机、支撑架、回转轴、套管、上封盖、下封盖和回转基座，其特征在于，回转基座上设有两组治具，电机固定在支撑架上，支撑架上表面固定有若干支撑柱，支撑柱上端连接有卡板，卡板上开有卡孔，下封盖卡嵌在卡孔内，套管下端与下封盖嵌套连接，套管上端与上封盖嵌套连接，回转轴穿设在套筒内，回转轴通过轴承与套筒内壁转动连接，回转轴下端穿过卡板且与电机通过同步带传动组动力连接，回转轴上端固定连接有传动盖板，传动盖板与回转轴同步转动，传动盖板与回转基座固定连接，治具包括固定在回转基座上的气缸、定位销、法兰盘、限位销、上防水罩和下防水罩，下防水罩固定在回转基座上且套在气缸外，法兰盘套在定位销上且沿着定位销上下滑动，上防水罩固定在法兰盘下表面，气缸的活塞杆与法兰盘连接，上防水罩套在下防水罩外，回转基座上设有将硅片从治具上冲落的喷水管。

2.根据权利要求1所述的一种用于卸载和传送硅片的装置，其特征在于，法兰盘上表面开有供硅片放置的凹槽，所述气缸可控制所述法兰盘上下运动。

3.根据权利要求1所述的一种用于卸载和传送硅片的装置，其特征在于，回转基座上固定有限位销，限位销穿过法兰盘，限位销底面设置有密封圈，密封圈与所述法兰盘处于上极限位时相抵靠。

4.根据权利要求1所述的一种用于卸载和传送硅片的装置，其特征在于，所述定位销上端具有销头，销头顶部为圆锥形，且定位销底面设置有密封圈，密封圈与所述法兰盘处于上极限位时相抵靠。

5.根据权利要求1所述的一种用于卸载和传送硅片的装置，其特征在于，所述回转轴下端套有轴环，轴环外设置有油封，油封与所述下封盖内壁相抵靠，所述回转轴下端螺纹连接有精密锁紧螺母，精密锁紧螺母上端面与轴环下端面相抵靠。

6.根据权利要求1所述的一种用于卸载和传送硅片的装置，其特征在于，卡板上表面固定有回转轴盖板A，传动盖板下表面固定连接有回转轴盖板B，回转轴盖板B套在回转轴盖板A外，套筒位于回转轴盖板A内。