[发明专利]一种应用于人工软骨表面的柔性硬质涂层及制备方法有效
| 申请号： | 202010014035.6 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111188017B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 欧伊翔;刘超;唐爱权;王浩琦 | 申请（专利权）人： | 欧伊翔 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 高琦 |
| 地址： | 100875 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 人工 软骨 表面 柔性 硬质 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于人工软骨表面的柔性硬质涂层的制备方法，其特征在于，包括：
将人工软骨放置在真空室中进行预处理；
通过HiPIMS沉积设备在预处理后的人工软骨表面沉积Ti过渡层，沉积Ti过渡层时，HiPIMS沉积设备的溅射电压为800V，溅射时长为5min，沉积负偏压为-150V；
在Ti过渡层的基础上，采用MEVVA离子源进行离子注入，注入离子种类为Fe，注入能量为5kV，注入剂量5*1016ions/cm2；
在离子注入的基础上，沉积一层Ti金属层；
在Ti金属层上，通过HiPIMS沉积设备，沉积柔性硬质TiSiCN涂层。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将人工软骨放置在真空室中之前，还包括：对人工软骨进行清洗。
3.一种应用于人工软骨表面的柔性硬质涂层，其特征在于，所述柔性硬质涂层由权利要求1-2中任意一项所述应用于人工软骨表面的柔性硬质涂层的制备方法得到。
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