[发明专利]一种碳化硅膜连续碳纤维板的制备方法有效
| 申请号： | 202010014239.X | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111118472B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 唐竹兴;田露;苏秋歌 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | C23C16/32 | 分类号： | C23C16/32;C23C16/455;C23C16/54;C23C16/52;C04B35/628 |
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| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 连续 碳纤维 制备 方法 | ||
1.一种碳化硅膜连续碳纤维板的制备方法，其特征在于，连续碳纤维板是在碳化硅膜连续碳纤维板镀膜机中通入工艺气体在被加热的碳纤维束表面连续沉积碳化硅形成碳化硅膜，随着碳化硅薄膜的增厚把相邻碳纤维束链接成一体形成碳化硅膜连续碳纤维板，其中，碳化硅膜连续碳纤维板镀膜机是由碳纤维室（1）、气相沉积室（2）、混合气体室（3）、氮气室（4）、碳化硅膜连续碳纤维板载物平台（5）、碳纤维滚（6）、碳纤维板（7）、通道（8）、对棍石墨滚（9）、对棍石墨滚（10）、对棍石墨滚（11）、通道（12）、通道（13）、通道（14）、切刀（15）、气体入口（16）、排出口（17）、进口（18）、气相沉积室隔热屏（19）组成的；
碳化硅膜连续碳纤维板是由多股或多层碳纤维束并列紧凑排布，每股碳纤维束间距为0.5~100µm；
对棍石墨滚（9）和对棍石墨滚（10）分别与电源的两极相接，通电后将碳纤维板加热到900~1100℃，对棍石墨滚（9）、对棍石墨滚（10）和对棍石墨滚（11）的转速协调一致；
工艺气体为三氯甲基硅烷气、氢气和氩气的混合气体，三氯甲基硅烷气:氢气:氩气的摩尔比为1:6~10:8~12，流量控制在100~1200ml/min；
碳化硅膜连续碳纤维板中碳化硅膜的厚度是由工艺气体的摩尔比、碳纤维板（7）的温度和对棍石墨滚（9）对棍石墨滚（10）对棍石墨滚（11）的转速共同控制。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
