[发明专利]一种双端面研磨机上盘多阶段气路压力控制系统和方法

权利要求书

1.一种双端面研磨机上盘多阶段气路压力控制系统，包括主控制器、工业计算机、气体压力传感器、气动压力比例阀和气压缸，所述的主控制器包括中央处理器、数据采集模块和模拟量输出模块，其特征是：所述的气压缸设置在研磨机上盘上端面，气压缸的进气管路设置有用以控制气压缸进气口压力的气动压力比例阀，用以测量气压缸进气口压力的气体压力传感设置在气动压力比例阀与气压缸之间，所述的主控制器通过数据采集模块连接气体压力传感器，主控制器通过模拟量输出模块连接气动压力比例阀，工业计算机采用Ethernet网连接主控制器，形成主控制器对气动压力比例阀的闭环控制。

2.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机上盘多阶段气路压力控制系统，其特征是：所述的工业计算机还包括显示模块，用以显示加工过程中的压力波形和压力值。

3.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机上盘多阶段气路压力控制系统，所述的主控制器为PLC可编程控制器。

4.利用权利1—3任一项所述的双端面研磨机上盘多阶段气路压力控制系统进行双端面研磨机上盘多阶段气路压力控制的方法，包括以下步骤：

A、根据工件加工工艺要求，通过工业计算机在主控制器内设定研磨加工每个阶段的时间值t和压力值SPn；

B、控制系统运行，加工工件，此时主控制器通过数据采集模块读取传感器反馈的过程值PVn，经过设定的每一阶段采样时刻n时的时间间隔△t内，主控制器计算出SPn与PVn之间的差值，根据如下PID控制算法求出气动压力比例阀控制参数Mn：

Mn=Kp*(SPn-PVn)+KI∑(SPn -PVn)△t + Kd*(SPn-PVn)/△t （1）

公式（1）中，Kp表示回路增益，KI表示积分项的比例常数，Kd表示微分项的比例常数；

C、主控制器根据每一阶段气动压力比例阀控制参数Mn，控制气压缸作用在上盘上端面的压力大小，从而形成压力闭环控制，保持压力稳定；

D、工件加工到指定尺寸，闭环控制系统退出运行状态，进入待机状态。