[发明专利]一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置

权利要求书

1.一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于，包括：

多维调整台，所述多维调整台设置于底座上，所述多维调整台可实现XYZ三个方向上小行程高分辨率调整；

滑板台，所述滑板台可XY两个方向大行程正交滑动并可锁定，所述滑板台前端承载可固定或释放耦合透镜的真空吸附机构；

所述多维调整台由X方向调整旋钮，Y方向调整旋钮以及Z方向调整旋钮进行三维调整，所述滑板台固定在三维调整上可以实现大行程的调整，所述滑板台中X方向滑板b，X方向滑板固定螺丝a实现在X方向大行程调整，所述滑板台中Y方向滑板d，Y方向滑板固定螺丝c实现在Y方向大行程调整，所述滑板台中Y方向滑板d末端固定真空吸附机构，通过三维调整调整台以及滑板台可以实现真空吸附机构的大行程XY调整以及小行程高分辨率的XYZ调整，Z向匹配转接座安装在底座另一端用于匹配待装调的多单管半导体耦合单芯光纤模块到合适的高度；

所述真空吸附机构包括球碗套筒，吸嘴以及光窗；

所述球碗套筒、光窗以及吸嘴组合形成一个封闭内腔结构，当通过吸嘴外接真空发生器后在球碗套筒内部形成负压而将耦合透镜牢固吸附在球碗套筒下端，所述光窗嵌入到球碗套筒上，所述球碗套筒下部内部为弧形结构，所述耦合透镜出射的激光光束通过球碗套筒内部并从光窗出射，当去除负压后，耦合透镜与球碗套筒会依靠重力而分离；

用于多单管半导体耦合单芯光纤模块，包括多个单管半导体激光器，用于固定多单管激光器的固定座，多个准直半导体激光器的耦合透镜，将多个准直后的光束聚焦到光纤的聚焦透镜，固定输出单芯光纤的法兰以及单芯光纤；

用于多单管半导体耦合单芯光纤模块的Z向匹配高度的转接座；

用于探测从光纤输出功率的激光功率计。

2.根据权利要求书1所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：所述多维调整台具有三个方向即XYZ调整自由度，通过多维调整台可以对耦合透镜XYZ三个位置进行调整，实现耦合到光纤的功率最大。

3.根据权利要求书1所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：所述滑板台固定在多维调整台上，可以粗调到多单管半导体耦合单芯光纤模块中各个耦合透镜的全部位置，当滑板台粗对准到任意耦合透镜后对XY两个方向锁定，再由多维调整台进行精细调整每个耦合透镜的位置达到输出光纤的功率最大化。

4.根据权利要求书3所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：固定或释放的耦合透镜的所述真空机构安装在滑板台前端，所述真空机构下端为球碗套筒用于吸附或释放耦合透镜，上端为光窗，中间为吸嘴。

5.根据权利要求书4所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：所述真空机构的滑板台深入到多单管半导体耦合单芯光纤模块内，利用所述多维调整台对多单管半导体耦合单芯光纤模块耦合透镜进行XYZ三个位置高精度位置调整，使耦合输出光纤功率达到最大。

6.根据权利要求书1所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：所述半导体激光器安装在多单管半导体耦合单芯光纤模块底板下侧，耦合透镜安装在多单管半导体耦合单芯光纤模块底板上侧，聚焦透镜将准直后的半导体激光汇聚到光纤中，调整耦合透镜位置达到最佳后，对耦合透镜点胶固定。

7.根据权利要求书1所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：所述激光功率计探测每一路半导体激光器装调耦合透镜后的出光功率，耦合透镜装调到最佳位置后激光功率计探测强度最大。

8.根据权利要求书1所述的一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置，其特征在于：所述Z向匹配转接座用于固定多单管半导体耦合单芯光纤模块，所述的固定多单管半导体耦合单芯光纤模块内部耦合透镜高度与所述真空机构高度相同。