[发明专利]一种反射不对称的金属光栅偏振分束器有效

专利信息
申请号: 202010018501.8 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111090176B 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 叶志成;郑君;郭宵 申请(专利权)人: 上海交通大学;华为技术有限公司
主分类号: G02B27/28 分类号: G02B27/28;G02B5/18
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 反射 不对称 金属 光栅 偏振 分束器
【权利要求书】:

1.一种反射不对称的金属光栅偏振分束器,包括衬底(1)、第一介质(2)和第一金属(3),其特征在于:多个所述第一金属(3)和第一介质(2)横向等间隔的并排设置在所述衬底(1)的上表面构成第一光栅,并在所述第一金属(3)的上表面设置吸光材料,所述的第一介质(2)宽度满足电场方向平行第一金属(3)光栅线条的入射光的模式截止,所述第一光栅的光栅周期满足入射光波段空气衍射角度大于90度;

在纵向沿着所述第一金属(3)的上表面还等间隔的设置多个第二材料(5.a)构成第二光栅,所述吸光材料紧贴的设置在相邻的两个第二材料(5.a)中间间隔处的第一金属(3)的上表面;在相邻的第二材料(5.a)高出吸光材料的空间填充第二介质(4.b);所述的第二介质(4.b)的宽度满足使得磁场方向平行第一金属(3)线条方向的入射光的模式截止,所述第二光栅的光栅周期满足入射光工作波段的空气衍射角大于90度。

2.根据权利要求1所述的分束器,其特征在于:紧贴所述第一金属(3)和吸光材料的横向侧壁面上紧贴地设置第一吸光材料侧壁(6)。

3.根据权利要求1或2所述的分束器,其特征在于:所述衬底(1)为对入射光透明的材料,所述第一介质(2)为空气或对入射光透明的材料,所述第一金属(3)为Al,所述吸光材料为金属钨或碳化硼。

4.根据权利要求1所述的分束器,其特征在于:在纵向沿着所述第一金属(3)的上表面还等间隔的设置多个第二材料(5.a)构成第二光栅,所述吸光材料包括第一吸光材料(4.a)和第二吸光材料(5.b),所述第一吸光材料(4.a)紧贴的设置在相邻的两个第二材料(5.a)中间间隔处的第一金属(3)的上表面和/或侧面;所述第二吸光材料(5.b)紧贴的设置在所述第二材料(5.a)的上表面;在相邻的第二材料(5.a)高出第一吸光材料(4.a)的空间填充第二介质(4.b);所述的第二介质(4.b)的宽度满足使得磁场方向平行第一金属(3)线条方向的入射光的模式截止,所述第二光栅的光栅周期满足入射光工作波段的空气衍射角大于90度。

5.根据权利要求1所述的分束器,其特征在于:对同一条所述第一金属(3)上,在所述第二材料(5.a)的纵向侧壁面上紧贴的设置第二吸光材料侧壁(7)。

6.根据权利要求1所述的分束器,其特征在于:所述衬底(1)为对工作波段透明的材料,所述第一介质(2)和第二介质(4.b)为对入射光透明的材料,所述第一金属(3)为铝,所述第二材料(5.a)为铝、金属钨或二氧化硅,所述吸光材料为在工作波段表现为金属性的材料。

7.根据权利要求4所述的分束器,其特征在于:所述衬底(1)为对入射光透明的材料,所述第一介质(2)和第二介质(4.b)为空气或对入射光透明的材料,所述第一金属(3)为铝,所述第二材料(5.a)为铝、金属钨或二氧化硅,所述第一吸光材料(4.a)、第二吸光材料(5.b)为钨、砷化镓、碳化硼或其复合材料。

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