[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装方法

权利要求书

1.一种钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装方法，其步骤如下：

1)在干净的刚性基底上，于惰性气氛下以ITO为下电极制备有机金属卤化物钙钛矿太阳能电池，基底的长度和宽度大于钙钛矿太阳能电池的长度和宽度；

2)将PDMS的两种前驱体以质量1：1的比例混合3～6分钟，得到粘稠混合物；然后用十甲基环五硅氧烷将该粘稠混合物稀释到原质量的8～12倍；

3)在充满N₂的手套箱中，将步骤2)稀释后的粘稠混合物以5000～8000rpm的转速旋涂在步骤1)得到的有机金属卤化物钙钛矿太阳能电池的上表面及侧表面上，旋涂时间为20～40s，然后在手套箱中放置5～10分钟，在室温下蒸发过量的十甲基环五硅氧烷；

4)将步骤3)得到的器件在紫外光下固化50～80s，得到厚度80～150nm的固体PDMS层，即有机阻隔层；

5)在ALD设备的反应腔室中，利用远程等离子在功率100w～150w下处理步骤4)得到的固体PDMS层8～15min，在固体PDMS层上得到致密的厚度30～50nm的SiO_X薄膜，即无机阻隔层；

6)在步骤5)得到的SiO_X薄膜上重复步骤3)、4)、5)的操作多次，得到PDMS/SiO_X叠层结构；

7)在步骤6)得到的PDMS/SiO_X叠层结构上，再重复步骤3)、4)的操作1次，得到复合阻隔层，从而完成钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装。

2.如权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装方法，其特征在于：刚性基底为玻璃基底。

3.一种钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装方法，其步骤如下：

1)在干净的柔性基底上，于惰性气氛下以Au为下电极制备有机金属卤化物钙钛矿太阳能电池，基底的长度和宽度大于钙钛矿太阳能电池的长度和宽度；

2)将PDMS的两种前驱体以质量1：1的比例混合3～6分钟，得到粘稠混合物；然后用十甲基环五硅氧烷将该粘稠混合物稀释到原质量的8～12倍；

3)在充满N₂的手套箱中，将步骤2)稀释后的粘稠混合物以5000～8000rpm的转速旋涂在步骤1)得到的有机金属卤化物钙钛矿太阳能电池的上表面及侧表面上，旋涂时间为20～40s，然后在手套箱中放置5～10分钟，在室温下蒸发过量的十甲基环五硅氧烷；

4)将步骤3)得到的器件在紫外光下固化50～80s，得到厚度80～150nm的固体PDMS层，即有机阻隔层；

5)在ALD设备的反应腔室中，利用远程等离子在功率100w～150w下处理步骤4)得到的固体PDMS层8～15min，在固体PDMS层上得到致密的厚度30～50nm的SiO_X薄膜，即无机阻隔层；

6)在步骤5)得到的SiO_X薄膜上重复步骤3)、4)、5)的操作多次，得到PDMS/SiO_X叠层结构；

7)在步骤6)得到的PDMS/SiO_X叠层结构上，再重复步骤3)、4)的操作1次，得到复合阻隔层；

8)在柔性基底的下表面上，重复步骤3)、4)、5)、6)，得到基底封装阻隔层，从而完成钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装。

4.如权利要求3所述的一种钙钛矿太阳能电池的复合薄膜封装方法，其特征在于：柔性基底为PET基底。