[发明专利]一种超声换能器阵列在审
| 申请号： | 202010020585.9 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111359861A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 鲁瑶;万里兮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01N29/24;A61B8/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超声 换能器 阵列 | ||
1.一种超声换能器阵列，包括：第一填充物(1)、阵元(2)、互连线(3)以及金属凸点(4)；
所述第一填充物(1)填充所述阵元(2)的间隙，还可构成所述超声换能器阵列的至少两个边缘面；
所述金属凸点(4)与所述第一填充物(1)正对设置，且所述金属凸点(4)与所述阵元(2)通过所述互连线(3)连接。
2.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，所述超声换能器阵列还包括：基板(5)、以及第二填充物(6)；
所述金属凸点(4)设置于所述基板(5)上，设置于所述基板(5)上的所述金属凸点(4)与所述阵元(2)之间通过所述互连线(3)连接；
所述第二填充物(6)连接所述基板(5)以及所述阵元(2)。
3.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，所述超声换能器阵列还包括：匹配层(7)、电路板(8)以及第三填充物(9)；
所述匹配层(7)设置于所述阵元(2)的上方；
所述电路板(8)设置于所述金属凸点(4)的下方；
所述第三填充物(9)填充于所述金属凸点(4)的间隙。
4.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，所述互连线(3)的层数为至少一层。
5.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，所述互连线(3)为金属互连线。
6.根据权利要求2所述的超声换能器阵列，其中，所述基板(5)的材料包括：有机物、无机物。
7.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，所述第一填充物(1)的材料包括：有机物。
8.根据权利要求2所述的超声换能器阵列，其中，所述第二填充物(6)的材料与所述第一填充物(1)的材料可相同或不同。
9.根据权利要求3所述的超声换能器阵列，其中，所述第三填充物(9)与所述第一填充物(1)的材料可相同或不同。
10.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，所述金属凸点(4)的形状包括：球形、圆柱形以及正N棱柱，其中，N≥3。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010020585.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种居中划线器
- 下一篇：一种高浓度NOx烟气脱硝剂及其制备方法
