[发明专利]一种清洗超导腔的装置及清洗方法

权利要求书

1.一种清洗超导腔的装置，其特征在于，所述装置包括立式超声波发生槽和超导腔进/排液管路，其中，

所述立式超声波发生槽包括槽体和超声振子，所述槽体为立式可封闭槽，所述槽体内部适于容纳所述超导腔，所述槽体的外表面布有所述超声振子，所述槽体设有超导腔管路接口；

所述超导腔进/排液管路包括进液管路和排液管路，所述进液管路和排液管路分别通过所述超导腔管路接口与所述超导腔连接。

2.根据权利要求1所述的清洗超导腔的装置，其特征在于，所述进液管路设有第一连接法兰、进液阀和放空阀，所述第一连接法兰在所述超导腔管路接口处以与所述超导腔连接，所述放空阀设于所述第一连接法兰和所述进液阀之间。

3.根据权利要求2所述的清洗超导腔的装置，其特征在于，所述进液管路还设有液位监视元件，该液位监视元件设于所述放空阀附近。

4.根据权利要求1至3任一项所述的清洗超导腔的装置，其特征在于，所述排液管路设有第二连接法兰和流量控制阀，所述第二连接法兰在所述超导腔管路接口处以与所述超导腔连接，所述流量控制阀设于所述第二连接法兰下游。

5.根据权利要求1至3任一项所述的清洗超导腔的装置，其特征在于，所述槽体还设有超声传递液体入口、超声传递液体出口和溢流口，所述超声传递液体入口和溢流口设于所述槽体的上方，所述超声传递液体出口设于所述槽体的下方。

6.根据权利要求5所述的清洗超导腔的装置，其特征在于，所述装置还包括槽体进/排液管路，该槽体进/排液管路包括槽体进液管路和槽体排液管路，所述槽体进液管路与所述超声传递液体入口连接，所述槽体排液管路与所述超声传递液体出口连接。

7.根据权利要求1至3任一项所述的清洗超导腔的装置，其特征在于，所述槽体是横截面为方形的柱体，该槽体的侧面均布有所述超声振子。

8.一种根据权利要求1至7任一项所述清洗超导腔的装置进行清洗的方法，其特征在于，所述方法包括：

通过向所述超声波发生槽施加超声波，使得所述超声波发生槽内的液体向所述超声波发生槽内的超导腔传递超声波；

通过向所述超导腔内从上至下注入清洗液体，使所述清洗液体在超声波作用下清洗所述超导腔的内表面。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在超声清洗前，通过管路向所述槽体内注入超声传递液体，当所述槽体的溢流口有水溢出则停止注入所述超声传递液体。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括以下一个或多个：

向所述超导腔注入清洗液体时，关闭所述超导腔排液管路的流量控制阀，打开所述超导腔进液管路的放空阀，向所述超导腔内注入清洗液体，当液位监视元件中没有气泡冒出则关闭所述超导腔连接的放空阀，调节所述流量控制阀使得进出液体流量平衡；

当清洗完毕，关闭超声波，关闭所述超导腔的进水阀，打开所述超导腔连接的放空阀，对所述超导腔内的清洗液体进行排空；将所述槽体内的超声传递液体进行排空；

所述超导腔内的清洗液体为超纯水。