[发明专利]面板加工装置

权利要求书

1.一种面板加工装置，包括：

台，布置有具有由第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向定义的平面的母面板；

激光单元，布置于所述台上；以及

吸入装置，布置于所述台上，并且相邻于所述激光单元，

其中，所述吸入装置包括：

第一吸入部，限定有沿所述第一方向开口的第一开口部；以及

第二吸入部，限定有沿与所述第一方向相反的方向开口并沿所述第二方向与所述第一开口部隔开的第二开口部，

在所述第一吸入部以及第二吸入部的下部分别限定有沿所述第一方向延伸的第一吸入孔以及第二吸入孔。

2.如权利要求1所述的面板加工装置，其中，

所述第一吸入部以及第二吸入部相比于所述激光单元而布置于下方，

从平面上观察时，所述激光单元布置于所述第一吸入部与所述第二吸入部之间。

3.如权利要求1所述的面板加工装置，其中，

从所述激光单元生成的激光穿过所述第一吸入部与所述第二吸入部之间而照射至所述母面板。

4.如权利要求3所述的面板加工装置，其中，

所述激光以及所述第一吸入孔与所述第二吸入孔布置于与所述第一方向平行的同一线上。

5.如权利要求3所述的面板加工装置，其中，

从所述母面板产生的污染粒子通过所述第一吸入孔所述第二吸入孔被吸入至所述第一吸入部以及第二吸入部。

6.如权利要求5所述的面板加工装置，其中，

在所述第一吸入部以及第二吸入部中的每个，限定有从所述第一开口部以及第二开口部分别延伸的第一排气通道和第二排气通道，

并且，当在所述第一吸入部以及第二吸入部产生吸入力时，形成于所述第一排气通道和所述第二排气通道的第一流量分别比形成于所述第一吸入孔和所述第二吸入孔的第二流量大。

7.如权利要求6所述的面板加工装置，其中，

所述第一吸入部以及第二吸入部具有圆筒形形状而延伸，并且所述第一排气通道和所述第二排气通道的直径与所述第一开口部以及第二开口部的直径分别相同。

8.如权利要求7所述的面板加工装置，其中，

以所述第二方向为基准，所述第一排气通道和所述第二排气通道的所述直径分别大于所述第一吸入孔和所述第二吸入孔的长度。

9.如权利要求1所述的面板加工装置，其中，

所述第一吸入部包括：

第一延伸部，沿与所述第一方向及第二方向交叉的第一对角方向延伸，并在一侧限定有所述第一开口部；以及

第二延伸部，从所述第一延伸部的作为所述第一延伸部的所述一侧的相反侧的另一侧延伸，

其中，所述第二延伸部沿所述第一方向延伸。

10.如权利要求9所述的面板加工装置，其中，

所述第二吸入部包括：

第三延伸部，沿所述第一对角方向延伸，在一侧限定有所述第二开口部，并且沿与所述第一对角方向交叉的第二对角方向与所述第一延伸部向面对；以及

第四延伸部，从所述第三延伸部的作为所述第三延伸部的所述一侧的相反侧的另一侧延伸，

所述第四延伸部沿所述第一方向延伸，所述第一开口部相邻于所述第三延伸部的所述另一侧，并且所述第二开口部相邻于所述第一延伸部的所述另一侧。

11.如权利要求10所述的面板加工装置，其中，

所述第一吸入孔从所述第一延伸部的下部的预定的部分至所述第二延伸部的下部的预定的部分被限定，并且所述第二吸入孔从所述第三延伸部的下部的预定的部分至所述第四延伸部的下部的预定的部分被限定。