[发明专利]一种微纳图案的加工方法、设备及计算机可读存储介质在审

专利信息
申请号: 202010021724.X 申请日: 2020-01-09
公开(公告)号: CN111252729A 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 蓝河;李胜夏;任大勇 申请(专利权)人: 上海幂方电子科技有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200000 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 图案 加工 方法 设备 计算机 可读 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种微纳图案的加工方法,其特征在于,所述方法包括:

在图案电极上确定N个指定区域;

基于所述N个指定区域对M种指定材料进行吸附处理,以使每一个指定区域分别用于吸附其中一种指定材料,获得吸附有M种指定材料的图案电极;

通过所述吸附有M种指定材料的图案电极将所述M种指定材料转移至基材,以得到对应所述M种指定材料的印刷图案;

其中,所述N和M指代的数量相同或不同,N和M的数量均为大于等于2的正整数。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述N个指定区域对M种指定材料进行吸附处理,以使每一个指定区域分别用于吸附其中一种指定材料,获得吸附有M种指定材料的图案电极,包括:

将所述图案电极浸设在分散液中,所述分散液中包括有M种指定材料;

生成对应每一个指定区域的吸附指令,用于指示每一个指定区域分别用于吸附其中一种指定材料;

所述每一个指定区域分别对所述分散液中的其中一种指定材料进行吸附,获得吸附有M种指定材料的图案电极。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述对应每一个指定区域的吸附指令携带有对应每一个指定区域的吸附时间和电压强度。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述N个指定区域对M种指定材料进行吸附处理,以使每一个指定区域分别用于吸附其中一种指定材料,获得吸附有M种指定材料的图案电极,包括:

将所述图案电极浸设在第一种分散液中,所述第一种分散液中包括有第一种指定材料;

生成第一控制指令,所述第一控制指令用于指示第一个指定区域吸附第一种指定材料;

所述第一个指定区域对所述第一种指定材料进行吸附,获得吸附有第一种指定材料的图案电极;

以此类推,直至将所述图案电极浸设在第M种分散液中,所述第M种分散液中包括有第M种指定材料;

生成第N控制指令,所述第N控制指令用于指示第N个指定区域吸附第M种指定材料;

所述第N个指定区域对所述第M种指定材料进行吸附,获得吸附有第M种指定材料的图案电极。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述第一控制指令携带有对应第一个指定区域的吸附时间和电压强度;

以此类推,所述第N控制指令携带有对应第N个指定区域的吸附时间和电压强度。

6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,在所述第一个指定区域对所述第一种指定材料进行吸附,获得吸附有第一种指定材料的图案电极之后,所述方法还包括:

通过用于清洗第一种指定材料的第一种清洗液对所述吸附有第一种指定材料的图案电极进行清洗,获得清洗后吸附有第一种指定材料的图案电极;其中,所述清洗后吸附有第一种指定材料的图案电极中的第二指定区域用于对第二种指定材料进行吸附;

以此类推,直至通过用于清洗第M种指定材料的第M种清洗液对所述吸附有第一种至第M种指定材料的图案电极进行清洗,获得清洗后的图案电极;其中,所述清洗后的图案电极用于将所述M种指定材料转移至基材。

7.根据权利要求1-5任一项所述的方法,其特征在于,在通过所述吸附有M种指定材料的图案电极将所述M种指定材料转移至基材上之前,所述方法还包括:

通过用于清洗M种指定材料的复合清洗液对所述吸附有M种指定材料的图案电极进行清洗处理,获得清洗后的图案电极;其中,所述清洗后的图案电极用于将所述M种指定材料转移至基材。

8.一种微纳图案的加工设备,其特征在于,所述设备包括:

确定模块,用于在图案电极上确定N个指定区域;

吸附模块,用于基于所述N个指定区域对M种指定材料进行吸附处理,以使每一个指定区域分别用于吸附其中一种指定材料,获得吸附有M种指定材料的图案电极;

转移模块,用于通过所述吸附有M种指定材料的图案电极将所述M种指定材料转移至基材,以得到对应所述M种指定材料的印刷图案;其中,所述N和M指代的数量相同或不同,N和M的数量均为大于等于2的正整数。

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