[发明专利]一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜

权利要求书

1.一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜，其特征在于：包括基座（1），所述基座（1）上表面设置有第一绝缘层（2），所述第一绝缘层（2）的上表面设置有第一固定层（3），所述第一固定层（3）的上表面设置有第二绝缘层（4），所述第二绝缘层（4）的上表面设置有反射元件层（5），所述反射元件层（5）的上表面设置有第三绝缘层（6），所述第三绝缘层（6）的上表面设置有第二固定层（7），所述第二固定层（7）的上表面设置有第四绝缘层（8），所述第四绝缘层（8）上设置有焊盘（9）；

所述基座（1）是四周边框围成的中空框状结构，所述第一绝缘层（2）、第一固定层（3）、第二绝缘层（4）、反射元件层（5）、第三绝缘层（6）、第二固定层（7）、第四绝缘层（8）均按次序在基座（1）的中空框状结构上叠加固定；

所述第一绝缘层（2）、第二绝缘层（4）、反射元件层（5）、第三绝缘层（6）、第四绝缘层（8）均为平面结构；第一固定层（3）和第二固定层（7）为阶梯状结构。

2.根据权利要求1所述具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜，其特征在于：所述第一绝缘层（2）由设置在基座（1）的中空框状结构四周上表面的多块绝缘薄层构成；所述第一固定层（3）包括第一外围固定结构（31）、第一固定电容（301）、第二固定电容（302）、第三固定电容（303）、第四固定电容（304）、第一固定驱动元件（311）和第二固定驱动元件（312）；所述第一外围固定结构（31）的轴向两端内侧设置有第一固定电容（301）、第二固定电容（302）、第三固定电容（303）、第四固定电容（304）；所述第一外围固定结构（31）的径向两端内侧设置有第一固定驱动元件（311）和第二固定驱动元件（312）；所述第一固定电容（301）、第二固定电容（302）、第三固定电容（303）、第四固定电容（304）、第一固定驱动元件（311）和第二固定驱动元件（312）均为悬空的梳齿结构，所述梳齿结构的根部均与第一外围固定结构（31）连接；所述梳齿部位下表面与所述第一外围固定结构（31）下表面平齐，所述梳齿部位上表面超出所述第一外围固定结构（31）上表面形成阶梯状结构；第一外围固定结构（31）与第一绝缘层（2）连接。

3.根据权利要求2所述具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜，其特征在于：所述第二绝缘层（4）由设置在第一外围固定结构（31）上表面的多块绝缘薄层构成；所述反射元件层（5）包括反射镜外围固定结构（51）、镜体（530）、第一转动电容（501）、第二转动电容（502）、第三转动电容（503）、第四转动电容（504）、第一转动驱动元件（511）和第二转动驱动元件（512）；所述第一转动电容（501）、第二转动电容（502）、第三转动电容（503）、第四转动电容（504）、第一转动驱动元件（511）和第二转动驱动元件（512）均为悬空的梳齿结构；所述镜体（530）的轴向两侧边通过第一转轴（521）、第二转轴（522）与反射镜外围固定结构（51）轴向两侧边内侧连接，所述镜体（530）的径向两侧边分别与第一转动驱动元件（511）、第二转动驱动元件（512）的梳齿根部连接，所述第一转轴（521）两侧边分别与第一转动电容（501）、第二转动电容（502）的梳齿根部连接，所述第二转轴（522）两侧边分别与第三转动电容（503）、第四转动电容（504）的梳齿根部连接，所述反射镜外围固定结构（51）与第二绝缘层（4）连接。