[发明专利]大口径熔石英玻璃低损伤阈值缺陷的测量装置和测量方法

权利要求书

1.一种大口径熔石英玻璃低阈值缺陷的测量装置，其特征在于包括二维机械扫描机构(1)、激光光源(3)、滤光片(4)、光谱仪(5)、步进电机控制器(6)、数据采集器(7)、激光器控制器(8)和计算机(9)，所述的二维机械扫描机构(1)用于放置待测大口径熔石英玻璃(2)，所述的激光光源(3)发出的激光照射在所述的待测大口径熔石英玻璃(2)的表面上，在所述的待测大口径熔石英玻璃(2)表面缺陷发出的荧光方向，依次是所述的滤光片(4)和光谱仪(5)，该光谱仪(5)的输出端与所述的计算机(9)的输入端相连，所述的计算机(9)的输出端分别经所述的步进电机控制器(6)与所述的二维机械扫描机构(1)的控制端相连，经所述的激光器控制器(8)与所述的激光光源(3)的控制端相连。

2.利用权利要求1所述的大口径熔石英玻璃低阈值缺陷的测量装置，对大口径熔石英玻璃低阈值缺陷的测量方法，其特征在于该方法的步骤如下：

1)将待测的大口径熔石英玻璃(2)放置于所述的二维机械扫描机构(1)上，所述的激光光源(3)输出的激光照射在所述待测大口径熔石英玻璃(2)的表面上，调整所述的光谱仪(5)和滤光片(4)对准所述待测大口径熔石英玻璃(2)表面缺陷发出的荧光；

2)启动所述的计算机(9)，在所述的计算机(9)的控制下，所述的步进电机控制器(6)控制所述的二维机械扫描机构(1)，将所述的待测大口径熔石英玻璃(2)移动到起始位置，所述的激光光源(3)输出的激光照射在所述待测大口径熔石英玻璃(2)表面的起始位置，并令该位置为n＝1，所述待测大口径熔石英玻璃(2)激光扫描照射的位置共N个；

3)在所述的计算机(9)的控制下，所述的激光光源(3)输出的激光照射在所述待测大口径熔石英玻璃(2)表面的位置n，所述的光谱仪(5)测量所述待测大口径熔石英玻璃(2)表面位置n发出的荧光光谱，并输入所述的计算机(9)；

4)所述的计算机(9)判断该位置n是否存在低阈值缺陷对应的荧光光谱，若存在荧光光谱，即表示该位置存在低阈值缺陷，计算机(9)记录该位置n的坐标；

5)所述的计算机(9)通过所述的步进电机控制器(6)控制所述的二维机械扫描机构(1)，将所述待测大口径熔石英玻璃(2)移动到位置n+1，并令n＝n+1，当n≤N时，返回步骤3)；当n>N时，进入下一步；

6)所述的计算机(9)输出所有低阈值缺陷的坐标，即在全口径范围内实现大口径熔石英玻璃低阈值缺陷的测量和坐标定位，测量结束。