[发明专利]聚合物复合真空部件有效
| 申请号： | 202010025978.9 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111220321B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | B·J·凯利;C·L·珀西;S·C·海因布赫;G·A·布鲁克;T·C·斯文尼;T·R·皮万卡-科尔 | 申请（专利权）人： | 万机仪器公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30;G01L21/34;G01L19/00;B29C45/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 复合 真空 部件 | ||
1.一种电离测量计，所述电离测量计包括：
a）圆柱形阴极笼，所述圆柱形阴极笼具有基部，所述基部具有开口；
b）聚合物真空壳体，所述聚合物真空壳体围绕所述圆柱形阴极笼；
c）圆柱形磁体，所述圆柱形磁体围绕所述聚合物真空壳体；以及
d）阳极馈通引脚，所述阳极馈通引脚被布置为直接穿过所述聚合物真空壳体并且穿过所述圆柱形阴极笼的所述基部的所述开口。
2.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体包括基部，所述基部封闭所述聚合物真空壳体的端部，并且其中所述阳极馈通引脚被布置为穿过所述基部。
3.根据权利要求1所述的电离测量计，该电离测量计还包括被布置为直接穿过所述聚合物真空壳体并且电联接到所述圆柱形阴极笼的阴极馈通引脚。
4.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阴极馈通引脚被布置为穿过所述聚合物真空壳体的侧面。
5.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚具有非线性部。
6.根据权利要求5所述的电离测量计，其中，所述非线性部被布置为穿过所述聚合物真空壳体的聚合物材料。
7.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚具有布置在所述聚合物真空壳体的聚合物内的螺纹部。
8.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚还利用O形环联接至所述聚合物真空壳体。
9.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚具有布置在所述聚合物真空壳体的聚合物内的延伸的盘部。
10.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，通过利用嵌入在所述聚合物真空壳体内的导电的基体联接两个导体而形成所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚。
11.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体还包括被一体地模制至所述聚合物真空壳体的凸缘以将所述测量计联接至处理室。
12.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括布置在所述圆柱形阴极笼内的溅射护罩，所述溅射护罩与所述阳极馈通引脚同轴。
13.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括起动器，所述起动器电联接至所述阳极馈通引脚并且布置在所述圆柱形阴极笼内。
14.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述圆柱形阴极笼的上部具有唇，所述唇从所述圆柱形阴极笼沿径向向外延伸到所述聚合物真空壳体中。
15.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括联接至所述圆柱形阴极笼的上部的铁磁屏。
16.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体包括凸缘以将所述电离测量计联接至室。
17.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括绕所述阳极馈通引脚布置的、位于所述聚合物真空壳体内并且位于所述圆柱形阴极笼的基部下方的O形环。
18.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括印刷电路板，其中，所述阳极馈通引脚被布置为穿过所述印刷电路板并且所述聚合物真空壳体机械地联接至所述印刷电路板。
19.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体由聚醚醚酮、聚丙烯或者聚碳酸酯形成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于万机仪器公司，未经万机仪器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010025978.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
