[发明专利]一种微帕量级水汽发生器及其应用

权利要求书

1.一种微帕量级水汽发生器的应用，其特征在于，该微帕量级水汽发生器包括发生器主体、微调阀、用于与反应器相连的水汽输送管路、与水汽输送管路相连的超高真空反应器，所述发生器主体与水汽输送管路相连，所述微调阀设置在水汽输送管路上；

所述发生器主体包括用于将其中的高纯水凝固成冰的冷却部、升华部、用于向发生器主体内添加高纯水的开口端、制冷组件，所述冷却部呈一端开口的矩形体，所述升华部呈两端开口的管状；所述升华部的一端与冷却部相连，所述开口端设置在升华部的另一端，所述开口端与升华部活动连接且开口端能相对升华部打开以使高纯水进入发生器主体内；

所述冷却部、升华部通过钎焊相连为一体，所述升华部上设置有用于输出水汽的出口，所述出口与水汽输送管路相连；

所述制冷组件包括半导体制冷片、用于与半导体制冷片提供电源的供能装置，所述供能装置与半导体制冷片相连，所述半导体制冷片贴合在冷却部的外壁上；

所述升华部采用不锈钢制作而成，所述冷却部采用纯铜制作而成，所述冷却部、升华部之间采用银钎焊相连；

该微帕量级水汽发生器能产生微帕量级的水汽，用于满足表面物理化学领域中水汽反应的需要，包括如下步骤：

（1）向发生器主体内加入高纯水，并关闭开口端和微调阀，使发生器主体内形成密闭空间；

（2）半导体制冷片对冷却部进行冷却降温，使发生器主体内的高纯水凝固成冰；

（3）待步骤（2）完成后，打开微调阀，发生器主体内的冰升华，产生的水汽随着水汽输送管路进入反应器内，通过调节微调阀，控制水汽发生器产生的水气量，并通过水汽输送管路送入超高真空反应器内，进行水汽反应；

在水汽反应中，超高真空反应器呈真空状态，当发生器主体与超高真空反应器连通时，在负压的作用下，发生器主体内的水汽能通过水汽输送管路进入超高真空反应器中，从而进行相应的反应。

2.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述开口端上还设置有观察窗。

3.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述出口、开口端的内径分别为10~25mm。

4.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述出口、开口端的内径分别为16mm。

5.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述微调阀为宝石阀。

6.根据权利要求1~5任一项所述的应用，其特征在于，所述半导体制冷片分别设置在冷却部的侧壁和底壁上。

7.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述升华部采用304不锈钢制作而成。

8.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述冷却部的外壁上设置有隔热层。