[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其对被加工物的特性进行检查，其中，

该检查装置具有：

卡盘工作台，其对被加工物进行保持；

微波照射单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物照射微波；

微波接收单元，其接收从该被加工物反射的微波；以及

激光光线照射单元，其对被照射了微波的该被加工物的照射位置照射激光光线，

该激光光线照射单元包含能够选择所要照射的激光光线的波长的波长选择部，

从该微波照射单元对该被加工物照射微波，并且从该激光光线照射单元对该被加工物上的该微波的照射位置照射激光光线，利用该微波接收单元接收在通过因光激发产生的载流子而提高了反射率的该照射位置发生反射的微波，测量载流子寿命，从而检查该被加工物的特性。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

该激光光线照射单元包含：

作为光源的白色光源；以及

作为该波长选择部的多种带通滤波器，它们从该白色光源中选择性地抽出多种波长的光而进行照射。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

该激光光线照射单元包含波长可变激光生成单元。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

该白色光源从SLD光源、ASE光源、超连续谱光源、LED光源、卤素光源、氙光源、汞光源以及金属卤化物光源中进行选择。