[发明专利]一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，步骤包括：

S1：将衬底置于过滤篮底部，再将过滤篮浸入前驱体溶液中；

S2：向前驱体溶液表面滴加微球溶液；

S3：向上提升过滤篮至过滤篮底部离开前驱体溶液，取出衬底并加热，得到前驱体薄膜；

S4：将前驱体薄膜升温后烧结，即得所述阵列式多孔氧化物薄膜；

所述过滤篮具有底板及围绕所述底板形成的侧壁，所述底板上分布有过滤孔，所述侧壁与所述底板之间的夹角为90～150°；

在所述过滤篮中铺设滤纸，再将所述衬底放置于滤纸上。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述前驱体溶液为金属硝酸盐溶液、金属醋酸盐溶液、金属硫酸盐溶液和金属碳酸盐溶液中的一种。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述前驱体溶液的浓度为0.001～0.5mol/L。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，过滤篮浸入前驱体溶液后，衬底距离前驱体溶液液面的距离为5～20cm。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述微球为聚苯乙烯微球。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S2中，微球溶液的滴加量L的计算方法为：L＝{S/[π(d/2)²]}/c，其中S为过滤篮底板面积，d为微球直径，c为微球溶液浓度。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S3中，向上提升过滤篮的速率为0.5～5mm/min。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S3中，所述加热的温度为80～200℃，加热的时间为30～10min。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S4中，升温的速率为1～5℃/min。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S4中，烧结的温度为600～900℃，烧结的时间为30～240min。