[发明专利]一种端头同心度装配调节机构及其调节方法

说明书

本发明涉及一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，包含底座(1)、端头(2)、激光发射装置(3)、支撑架(4)、靶盘(5)和卡箍(6)；所述底座(1)的顶面设置有端头(2)和支撑架(4)，所述端头(2)和支撑架(4)相对设置且位于同一直线上；所述激光发射装置(3)通过卡箍(6)固定连接于端头(2)上，所述靶盘(5)设置于支撑架(4)上，上述激光发射装置(3)与靶盘(5)相对设置；本发明一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，结构简单、调节方便、精度高、误差小、省时省力，提高了生产效率，降低了生产成本。

技术领域

本发明涉及一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，属于靶材生产制造技术领域。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)；靶材在安装及使用过程中，通常为架设于端头和支撑端之间的，因此对端头与支撑端的同心度要求较高，而传统的对于端头和支撑端同心度的调整由人工手动调节，无法精确定位，误差较大，往往需要来回多次调整，费时费力，极为不便，为方便且直观的确认及调整同心度，特设计研发了此调节机构。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种结构简单、调节方便、精度高、误差小、省时省力的端头同心度装配调节机构及其调节方法。

本发明的目的是这样实现的：

一种端头同心度装配调节机构，包含底座、端头、激光发射装置、支撑架、靶盘和卡箍；所述底座的顶面设置有端头和支撑架，所述端头和支撑架相对设置且位于同一直线上；所述激光发射装置通过卡箍固定连接于端头上，所述靶盘设置于支撑架上，上述激光发射装置与靶盘相对设置；

所述激光发射装置包含壳体，所述壳体呈碗状结构，壳体的开口端外壁边缘处设置有法兰盘，所述法兰盘与端头对应匹配，壳体与端头对接，通过卡箍将壳体的法兰盘和端头固定连接；所述壳体上设置有开关，所述壳体的底部中央设置有激光发射器，所述激光发射器3.3的发射端朝向靶盘5设置，所述开关与激光发射器之间通过导电线连接；

所述支撑架呈H形结构，所述支撑架的上部开有圆形卡接槽，圆形卡接槽的顶部设置有一豁口，靶盘嵌置于支撑架的上部圆形卡接槽内；所述靶盘包含固定座，所述固定座为中空柱体，所述固定座的柱体顶部开有两个相对称的限位槽；所述固定座的底部固定连接有刻度盘，所述刻度盘朝向激光发射装置的一面以刻度盘的圆心为中心设置有刻度环；所述刻度盘正对激光发射装置的一面设置有手柄，所述固定座的柱体顶部设置有支撑架锁定片，所述支撑架锁定片嵌置于固定座的柱体顶部两个相对称的限位槽内；所述手柄与支撑架锁定片对应匹配；所述手柄与支撑架锁定片之间通过螺栓螺母相铰接。

本发明一种端头同心度装配调节机构，所述固定座的外壁上设置有支撑架定位块，所述支撑架定位块嵌置于支撑架的圆形卡接槽的顶部的豁口内。

本发明一种端头同心度装配调节机构的调节方法：

步骤1、将激光发射装置与端头对接，激光发射装置的法兰盘和端头相匹配的，通过卡箍将激光发射装置固定连接在端头上；将靶盘插接至另一端的支撑架的圆形卡接槽内，拨动手柄，通过支撑架锁定片将靶盘锁紧在支撑架上；

步骤2、打开激光发射装置的开关，激光发射器发射激光并照射在对面的靶盘的刻度盘上；

步骤3、将端头旋转360°，同时观察并记录不同角度时的激光点在靶盘的刻度环上的位置；