[发明专利]一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置

说明书

本发明属于硅棒加工技术领域，特别涉及一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置，包括底座、沿底座长度方向上设置的四线开方组件和磨抛组件、以及设置在底座一侧的上下料组件；所述四线开方组件旁设有绕排线组件；所述绕排线组件有两个，设置在所述四线开方组件两侧；所述四线开方组件和所述磨抛组件之间设有对中组件；所述磨抛组件一侧设有夹持组件。本发明加工工序集中，节约了人工转运成本，工件精度保持性好，加工效率高，可大大提高产能。

技术领域

本发明属于硅棒加工技术领域，具体地说涉及一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置。

背景技术

目前国内外对硅棒加工的开方分为立式开方、两线开方、四线开方等，传统的加工方式分为立式开方、磨面、滚圆、毛刷抛光等工序。另外，最新主流的是四线开方、两面磨削、两面抛光。不管是传动的加工方式还是最新主流的加工方式，开方、磨削工序都存在硅棒频繁上料、下料、转运、重复装夹等问题。这些问题导致增加人工、增加物料转运的成本。目前主流磨削工序采用两面磨削、两面抛光的工艺，为了保证磨削工序磨削余量足够，开方往往留有较大的加工余量，磨削工序每刀去除硅棒的加工量较小，会造成磨削工序需要加工的刀数增加，磨削工序效率低下，另外加工余量大会造成硅料的损失。

发明内容

针对现有技术的种种不足，发明人在长期实践中研究设计出一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置，包括底座、沿底座长度方向上设置的四线开方组件和磨抛组件、以及设置在底座一侧的上下料组件；所述四线开方组件旁设有绕排线组件；所述绕排线组件有两个，设置在所述四线开方组件两侧；所述四线开方组件和所述磨抛组件之间设有对中组件；所述磨抛组件一侧设有夹持组件。

进一步地，所述四线开方组件、磨抛组件和上下料组件呈“品”字形设置。

进一步地，所述上下料组件包括上下料底座、滑动设置在上下料底座上的滑动台、以及滑动设置在滑动台上的上下料台。

进一步地，所述上下料底座长度方向的两侧均设有底座导轨，所述滑动台可沿底座导轨滑动；所述滑动台长度方向的两侧均设有滑动导轨，滑动导轨与所述底座导轨垂直，所述上下料台可沿滑动导轨滑动。

进一步地，所述上下料台包括上下移动板、设置在上下移动板顶部的前后移动板、以及设置在前后移动板顶部的上料组件和下料组件。

进一步地，所述四线开方组件包括开方底座、设置在开方底座顶部的开方立柱、以及设置在开方立柱底部两端的切割机头和开方尾架。

进一步地，所述开方立柱顶部沿长度方向设有开方导轨，所述切割机头顶部与开方导轨滑动连接；所述开方底座上设有导轨，所述开方尾架底部与导轨滑动连接；所述开方尾架包括尾架机身、设置在机身上部的夹紧头和设置在机身底部两侧的导轨滑块；所述夹紧头外围设有一圈边皮顶紧件，两侧所述导轨滑块中间设有驱动电缸。

进一步地，所述磨抛组件包括磨头支撑立柱、设置在磨头支撑立柱上的磨头进给组件、以及设置在磨头进给组件上的磨头组件；所述磨头支撑立柱为“门”型结构，磨抛纵向移动工作台从所述磨头支撑立柱底部空隙穿过。

进一步地，所述夹持组件设置在所述磨抛纵向移动工作台上，所述夹持组件底部与所述磨抛纵向移动工作台滑动连接。

进一步地，所述绕排线组件包括绕线模组和排线模组，所述排线模组旁设有数个绕线轮。

本发明的有益效果是：

将四线开方、四面磨抛工序一体化，形成自动流水式生产线，采用圆棒上料开方，加工完成后方棒下料，上下料组件转运硅棒到磨抛工序进行四面磨抛，加工工序集中，节约了人工转运成本，工件精度保持性好，加工效率高，可大大提高产能。