[发明专利]蒸镀装置

说明书

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚，具有蒸发槽；盖板，盖设于蒸发槽上；喷嘴组，与蒸发槽连通，喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，第二喷嘴组设置于第一喷嘴组的两端；第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，端部喷嘴位于第一喷嘴组沿排列方向的端部，端部喷嘴分别与第一喷嘴和第二喷嘴邻接；端部喷嘴和与其相邻的第一喷嘴或第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个第二喷嘴之间的间距为第三间距，第一间距大于第二间距，第二间距大于第三间距。本申请提供的蒸镀装置有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在显示技术领域中，在显示器的制作过程中，真空镀膜是一种较成熟的成膜方式，将用于成膜的基材通过蒸镀装置加热蒸镀到基板上。但是现有的蒸镀装置对基材的蒸镀质量较差，从而降低了产品的质量。此外，由于某些材料的特殊性，在蒸镀的过程中，容易对蒸镀装置中的喷嘴造成堵塞，但是现有的喷嘴不易拆卸和更换。

因此，目前亟待需要一种蒸镀装置来解决上述问题。

发明内容

本申请提供了一种蒸镀装置，以提高基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀。

本申请实施例提供了一种蒸镀装置，包括：

坩埚，具有蒸发槽；

盖板，盖设于所述蒸发槽上；

喷嘴组，与所述蒸发槽连通，所述喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，沿所述喷嘴组的排列方向，所述第二喷嘴组设置于所述第一喷嘴组的两端；

沿排列方向，所述第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，所述第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，所述端部喷嘴位于所述第一喷嘴组沿排列方向的端部，所述端部喷嘴分别与所述第一喷嘴和所述第二喷嘴邻接；

所述端部喷嘴和与其相邻的所述第一喷嘴或所述第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个所述第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个所述第二喷嘴之间的间距为第三间距，所述第一间距大于所述第二间距，所述第二间距大于所述第三间距。

在一种可能的设计中，所述第一喷嘴和所述端部喷嘴的喷嘴出口直径相同，所述第一喷嘴的喷嘴出口直径为所述第二喷嘴的喷嘴出口直径的1.5-2倍。

在一种可能的设计中，所述第一喷嘴、所述端部喷嘴和所述第二喷嘴的喷嘴出口角度为30°-60°。

在一种可能的设计中，还包括用于安装所述喷嘴组的喷嘴安装条，所述盖板沿所述喷嘴组的排列方向设置有固定槽，所述喷嘴安装条可拆卸地设置于所述固定槽中。

在一种可能的设计中，所述喷嘴安装条的顶面凹设有用于安装所述喷嘴组的多个喷嘴安装孔，所述喷嘴安装孔沿所述喷嘴组的排列方向呈线性分布，且所述喷嘴安装孔沿垂直于所述喷嘴组的排列方向的轴向方向呈对称分布。

在一种可能的设计中，还包括喷嘴连接管，所述喷嘴连接管的一端与所述喷嘴组连接，另一端与所述喷嘴安装孔连接。

在一种可能的设计中，所述固定槽从顶部沿着底部方向的直径逐渐减小，且所述固定槽内设置有用于支撑所述喷嘴安装条的凸台。

在一种可能的设计中，所述蒸发槽的顶部横截面积大于所述蒸发槽的底部横截面积。

在一种可能的设计中，还包括环状固定板，所述环状固定板环设于所述盖板的四周，且所述环状固定板固设于所述坩埚的顶部。

在一种可能的设计中，所述坩埚的顶面还凹设有环状密封槽，所述环状固定板设置有与所述环状密封槽相适配的密封件。