[发明专利]基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜

权利要求书

1.一种基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，包括：偏振光生成组件、表面等离传感器、激发光生成组件及差分探测组件；

所述偏振光生成组件用于生成偏振光并将所述偏振光输入所述表面等离传感器；

所述激发光生成组件用于生成激发光并照射样品以产生超声压力波；其中，所述激发光为环状贝塞尔型光束；

所述表面等离传感器用于接收所述偏振光，并将所述偏振光被所述表面等离传感器反射时因受到所述超声压力波的影响而引起变化的反射光束作为反射偏振光；

所述差分探测组件用于接收所述反射偏振光并根据所述反射偏振光输出所述样品的探测信息。

2.如权利要求1所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述表面等离传感器包括镀膜棱镜及设置于所述镀膜棱镜下方的去离子水膜，所述去离子水膜的下方放置所述样品。

3.如权利要求2所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述镀膜棱镜的底面设有反射镀层，所述去离子水膜接触所述反射镀层，所述反射镀层用于反射所述偏振光以形成所述反射偏振光。

4.如权利要求3所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述反射镀层为金属镀层。

5.如权利要求3或4所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述镀膜棱镜为直角棱镜或梯形棱镜。

6.如权利要求1-4任一项所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述偏振光生成组件包括氦氖激光发生器、偏振片及二分之一波片；

所述氦氖激光发生器用于产生探测激光；

所述偏振片设置于所述氦氖激光发生器与所述二分之一波片之间，所述偏振片用于对所述探测激光进行调制以得到调制探测激光；

所述二分之一波片设置于所述偏振片与所述表面等离传感器之间，所述二分之一波片用于对所述调制探测激光的P-偏振及S-偏振的分量进行调整以将调整后的所述调制探测激光作为所述偏振光。

7.如权利要求1-4任一项所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述激发光生成组件包括：固体激光发生器、轴锥镜、第一聚焦透镜、第一扩束透镜及第二扩束透镜；

所述固体激光发生器用于生成脉冲激发光；

所述轴锥镜设置于所述固体激光发生器与所述第一聚焦透镜之间，所述轴锥镜用于对所述脉冲激发光进行调制以产生贝塞尔型光束并输入所述第一聚焦透镜；

所述第一聚焦透镜设置于所述轴锥镜与所述第一扩束透镜之间，所述第一聚焦透镜用于对所述贝塞尔型光束进行聚焦后输入所述第一扩束透镜；

所述第一扩束透镜设置于所述第一聚焦透镜与所述第二扩束透镜之间，所述第二扩束透镜设置于所述第一扩束透镜与所述样品之间，所述第一扩束透镜及所述第二扩束透镜组合以用于对聚焦后的所述贝塞尔型光束进行扩束，得到所述环状贝塞尔型光束。

8.如权利要求7所述的基于表面等离传感的贝塞尔光声显微镜，其特征在于，所述激发光生成组件还包括环形掩膜；

所述环形掩膜设置于所述第一扩束透镜与所述第二扩束透镜之间，所述环形掩膜用于对所述第一扩束透镜输出的贝塞尔型光束进行滤波，以将滤波后的所述贝塞尔型光束输入所述第二扩束透镜。