[发明专利]电镀装置在审
申请号: | 202010034356.2 | 申请日: | 2020-01-13 |
公开(公告)号: | CN111155167A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 赵江滨;邵俊琪;何高魁;杨昉东 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | C25D21/12 | 分类号: | C25D21/12;C25D17/10;C25D21/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张成新 |
地址: | 102413 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 装置 | ||
1.一种电镀装置,包括:
电镀容器(1),所述电镀容器(1)用于盛装电镀液;
阴极件(2),所述阴极件(2)设置在所述电镀容器(1)中;
阳极件(3),所述阳极件(3)设置在所述电镀容器(1)中;以及
直流电源(4),所述直流电源(4)的正极与所述阳极件(3)电连接,所述直流电源(4)的负极与所述阴极件(2)电连接;
其特征在于:
所述阳极件(3)包括:
第一阳极件(31),所述第一阳极件(31)设置在所述阴极件(2)的第一侧面;以及
第二阳极件(32),所述第二阳极件(32)设置在所述阴极件(2)的背离所述第一阳极件(31)的第二侧面;
所述电镀装置还包括温度控制部件(5),所述电镀容器(1)设置在所述温度控制部件(5)中,所述温度控制部件(5)控制所述电镀液的温度。
2.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于:
所述电镀容器(1)包括:
容器本体(11),所述容器本体(11)用于盛装电镀液;以及
容器盖(12),所述容器盖(12)设置于所述容器本体(11)的开口处。
3.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于:
所述电镀装置还包括:
电极固定件(6),所述电极固定件(6)贯穿地设置在所述容器盖(12)上,所述电极固定件(6)包括:
第一电极固定件(61),所述第一电极固定件(61)的第一端部与所述第一阳极件(31)固定连接;
第二电极固定件(62),所述第二电极固定件(62)的第一端部与所述第二阳极件(32)固定连接;以及
第三电极固定件(63),所述第三电极固定件(63)的第一端部与所述阴极件(2)固定连接。
4.根据权利要求3所述的电镀装置,其特征在于:
所述第一电极固定件(61)的与其第一端部相对的第二端部和所述第二电极固定件(62)的与其第一端部相对的第二端部均电连接至所述直流电源(4)的正极,所述第三电极固定件(63)的与其第一端部相对的第二端部与所述直流电源(4)的负极电连接。
5.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于:
所述电镀装置还包括:
状态检测部件(7),所述状态检测部件(7)贯穿地设置在所述容器盖(12)上,所述状态检测部件(7)的第一端部浸没在所述电镀液中;以及
状态检测主机(8),所述状态检测主机(8)与所述状态检测部件(7)的与其第一端部相对的第二端部电连接。
6.根据权利要求5所述的电镀装置,其特征在于:
所述状态检测部件(7)包括:
pH值检测件,所述pH值检测件检测所述电镀液的pH值;以及
温度检测件,所述温度检测件检测所述电镀液的温度。
7.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于:
所述电镀装置还包括:
循环泵,所述循环泵的进液管路和出液管路设置在所述电镀液中。
8.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于:
所述容器盖(12)的边缘设置有蒸汽回流圈。
9.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于:
所述温度控制部件(5)为恒温水浴箱,所述电镀容器(1)设置在所述恒温水浴箱中,所述恒温水浴箱通过箱内的液体向所述电镀容器(1)传递热量或吸收热量以完成对所述电镀液的温度控制。
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