[发明专利]一种气体传感器标定装置在审
| 申请号： | 202010034478.1 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111189979A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 葛竞天 | 申请（专利权）人： | 上海虬祺传感器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人： | 李凯利 |
| 地址： | 201500 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 标定 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体传感器标定装置，其特征在于，包括主控板、至少二个质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵，所述质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计和气泵通过气路管道依次连通，所述标定气室内设置有待标定的气体传感器，所述压力计设置在所述标定气室上，所述主控板分别与质量流量控制器、待标定的气体传感器、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵通讯连接。
2.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述流量计为数字式流量节，所述压力计为数字式压力计。
3.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述主控板分别与质量流量控制器、标定气室、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵通过电缆线连接。
4.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述气体检测传感器为管道式气体检测传感器。
5.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述气泵为隔膜气泵。
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