[发明专利]激光切割用保护膜剂及其制造方法和被加工物的加工方法

权利要求书

1.一种激光切割用保护膜剂，其特征在于，

其由至少混合水溶性树脂、有机溶剂以及紫外线吸收剂而得的溶液构成，该紫外线吸收剂是阿魏酸、异阿魏酸、咖啡酸、芥子酸或绿原酸，该溶液还含有小于0.05wt%的抗氧化剂，使用阳离子交换树脂对该溶液中的Na离子进行离子交换，以使该溶液的Na的含量以重量比计为100ppb以下。

2.根据权利要求1所述的激光切割用保护膜剂，其特征在于，

该抗氧化剂是抗坏血酸和抗坏血酸衍生物中的任意一方或双方。

3.一种权利要求1所述的激光切割用保护膜剂的制造方法，其特征在于，

具有如下的步骤：

溶液准备步骤，准备至少混合水溶性树脂、有机溶剂以及紫外线吸收剂而得的溶液，该紫外线吸收剂是阿魏酸、异阿魏酸、咖啡酸、芥子酸或绿原酸；以及

离子交换处理步骤，使用阳离子交换树脂对该溶液中的Na离子进行离子交换，以使该溶液中的Na的含量以重量比计为100ppb以下。

4.一种使用了激光切割用保护膜剂的被加工物的加工方法，其特征在于，

具有如下的步骤：

保护膜形成步骤，在被加工物的正面侧涂布权利要求1所述的激光切割用保护膜剂而形成保护膜，该被加工物在该正面侧具有在由交叉的多条分割预定线划分的多个区域内分别设置有器件的器件区域以及围绕器件区域的周围的外周剩余区域；

激光加工步骤，对实施了该保护膜形成步骤后的该被加工物的该正面侧照射能够被该被加工物吸收的波长的激光束，沿着该多条分割预定线对该被加工物进行加工；以及

清洗步骤，对实施了该激光加工步骤后的该被加工物的该正面侧进行清洗。