[发明专利]加工装置的使用方法

说明书

提供加工装置的使用方法，按照相同的加工条件利用磨削装置来磨削不同种类的被加工物，节省按照被加工物的种类更换盒的工夫。加工装置的使用方法具有如下步骤：被加工物准备步骤，将集合盒载置于第一盒载置台，将第一种类区分盒载置于第二盒载置台，该集合盒包含分别对以相同的加工条件进行加工的多个种类的被加工物进行收纳的多个层，该第一种类区分盒收纳加工后的被加工物中的第一种类的被加工物；登记步骤，将第一种类的被加工物被收纳于集合盒的第几层的信息登记于控制单元；磨削步骤，利用磨削单元对从集合盒中搬出的第一种类的被加工物进行磨削；和收纳步骤，将磨削后的第一种类的被加工物根据登记于控制单元的信息而收纳于第一种类区分盒。

技术领域

本发明涉及利用磨削单元对被加工物进行磨削的加工装置的使用方法。

背景技术

在正面侧形成有IC(integrated circuit，集成电路)、LSI(large-scaleintegrated circuit，大规模集成电路)等器件的圆盘状的被加工物在通过切削装置等分割成各个器件之前，通过磨削装置对被加工物的背面侧进行磨削而加工成规定的厚度。

磨削装置例如具有卡盘工作台。卡盘工作台具有隔着保护带而对被加工物进行吸引保持的功能。在卡盘工作台的上方设置有磨削磨轮，在磨削磨轮的下表面侧呈环状排列有磨削磨具。另外，在磨削磨轮的上表面侧连结有使磨削磨轮旋转的主轴(参照专利文献1)。

在磨削装置中例如设置有两个盒载置台，在一个盒载置台上载置收纳有磨削前的被加工物的一个盒。一个盒通常能够收纳多张被加工物，例如收纳于一个盒中的多个被加工物在利用相同的磨削条件进行了加工之后，被收纳于另一个盒载置台上所载置的另一个盒中或返回一个盒中。

另外，在使每一批量的被加工物的数量为少数(例如一张至十张左右)且制造彼此不同的多个批量的被加工物的工厂等中，有时多个被加工物按照每个批量而收纳于不同的盒中。

例如将属于第一批量的一个或多个被加工物收纳于第一盒中，将属于第二批量的一个或多个被加工物收纳于第二盒中，将属于第三批量的一个或多个被加工物收纳于第三盒中。

在这样将多个被加工物按照每个批量而收纳于不同的盒中的情况下，为了在与各批量对应的加工条件(磨削条件)下使磨削装置全自动地进行动作而利用磨削装置对所有的被加工物进行磨削，需要按照每个批量更换盒。

具体而言，在利用磨削装置对收纳于第一盒中的所有被加工物进行了磨削之后，需要将第一盒更换为第二盒。然后，在利用磨削装置对收纳于第二盒的所有被加工物进行了磨削之后，需要将第二盒更换为第三盒。

专利文献1：日本特开2013-255952

在这样仅将属于规定的批量的(即、相同种类的)一个或多个被加工物收纳于一个盒中的情况下，为了利用磨削装置对不同种类的被加工物进行磨削，需要按照被加工物的每个种类来更换盒。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供加工装置的使用方法，在相同的加工条件下利用磨削装置对不同种类的被加工物进行磨削，因此节省了按照被加工物的每个种类更换盒的工夫。