[发明专利]一种低成本、大尺寸、高品质单晶金刚石及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010037077.1 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN113186597A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王少龙;江南 | 申请（专利权）人： | 宁波材料所杭州湾研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/10;C30B25/18 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 高一平;徐迅 |
| 地址： | 315336 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 尺寸 品质 金刚石 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种单晶金刚石，其特征在于，所述单晶金刚石的Raman峰半高宽FWHM值为2.9-3.5cm-1。
2.如权利要求1所述的单晶金刚石，其特征在于，所述单晶金刚石的硬度为90-120GPa。
3.如权利要求1所述的单晶金刚石，其特征在于，所述单晶金刚石的红外线透过率≥68％。
4.如权利要求1所述的单晶金刚石，其特征在于，所述单晶金刚石的单片尺寸的长度为3-5mm，宽度为3-5mm，厚度为1-3mm；和/或
所述单晶金刚石的整体尺寸为长度为50-80mm，宽度为50-80mm，厚度为1-3mm。
5.如权利要求1所述的单晶金刚石，其特征在于，所述单晶金刚石具有选自下组的一个或多个特征：
1)所述单晶金刚石包含20-60个单片的单晶金刚石；
2)所述单晶金刚石的长度为50-80mm；
3)所述单晶金刚石的宽度为50-80mm；
4)所述单晶金刚石的厚度为1-3mm；
5)所述单晶金刚石由单一取向的(100)面碳晶体组成。
6.一种权利要求1所述单晶金刚石的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)提供基体材料；
2)用化学气相沉积法在所述基体材料表面沉积权利要求1所述单晶金刚石；
其中，所述沉积的沉积气氛如下：碳源、氢气和氩气。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述沉积的沉积气氛如下：碳源流量为5-40sccm、氢气流量为500-800sccm、氩气流量为5-15sccm。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述沉积在沉积温度960-1100℃下进行；和/或
所述沉积的沉积时间为10-80h；和/或
所述沉积的沉积压力为0.05-30000Pa。
9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤2)之后还任选地包括步骤：
3)冷却处理步骤2)所得产物，得到权利要求1所述单晶金刚石。
10.一种金刚石制品，其特征在于，所述制品包含权利要求1所述的单晶金刚石或者由权利要求1所述的单晶金刚石构成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波材料所杭州湾研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经宁波材料所杭州湾研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010037077.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
