[发明专利]一种具有双透波陶瓷涂层的纤维预制体及其制备方法

权利要求书

1.一种具有双透波陶瓷涂层的纤维预制体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将氮化物纤维放入沉积炉内，以环硼氮烷作为先驱体，采用化学气相沉积工艺在氮化物纤维表面沉积氮化硼涂层，得到单涂层纤维；

S2、将步骤S1中所得单涂层纤维放入全氢聚硅氮烷溶液中，在密闭环境下浸渍直至单涂层纤维浸渍完全；

S3、将步骤S2中浸渍完全的单涂层纤维取出，去除单涂层纤维上的全氢聚硅氮烷溶液的溶剂，转移至恒温恒湿环境中水解转化，在氮化硼涂层表面涂覆硅氮氧涂层，得到具有双透波陶瓷涂层的纤维预制体；

所述步骤S1中，所述氮化物纤维为氮化硅纤维、硅氮氧纤维、氮化硼纤维和硅硼氮纤维中的一种或多种；

所述步骤S1中，所述化学气相沉积工艺的具体步骤包括：在保护气体氛围下以5℃/min～25℃/min的升温速率加热至1000℃～1700℃后，抽真空，通入先驱体，沉积30min～120min，再抽真空，通入保护气体至常压，冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：通入先驱体的具体步骤为：采用鼓泡法利用载气将先驱体输送至沉积炉内，同时通入稀释气调节稳定气压。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述载气的流量为0.1L/min～1.0L/min，稀释气的流量为0.5L/min～3.0L/min；所述环硼氮烷为液态，所述载气、稀释气和保护气体均为氮气。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的制备方法，其特征在于：所述步骤S2中，所述全氢聚硅氮烷溶液的溶剂为正丁醚，所述全氢聚硅氮烷溶液的浓度为0.1wt％～20.0wt％，所述浸渍时间为2h～20h。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中，采用室温挥发去除单涂层纤维上的全氢聚硅氮烷溶液的溶剂，挥发时间为4h～24h。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中，所述恒温恒湿环境的温度为50℃～150℃，湿度为50％～90％，水解转化时间为2h～48h。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述恒温恒湿环境的温度为80℃～120℃，湿度为70％～90％，水解转化时间为8h～24h。

8.一种具有双透波陶瓷涂层的纤维预制体，其特征在于：所述具有双透波陶瓷涂层的纤维预制体根据权利要求1至7任一项所述的制备方法制得，包括氮化物纤维、氮化硼涂层以及硅氮氧涂层，所述氮化硼涂层沉积在氮化物纤维表面，所述硅氮氧涂层涂覆在氮化硼涂层表面。