[发明专利]一种扫描探针及其制备方法

权利要求书

1.一种扫描探针，其特征在于，所述扫描探针包括：

探针本体，所述探针本体包括针尖和承载所述针尖的微悬臂，所述微悬臂设有上表面和与所述上表面对应的下表面，所述针尖连接于所述微悬臂的上表面靠近端部；

覆盖所述微悬臂的上表面以及所述针尖的金属导电层；

覆盖所述金属导电层的绝缘层；

覆盖所述微悬臂的下表面的金属反射层。

2.根据权利要求1所述的扫描探针，其特征在于，所述微悬臂的长度包括100～500μm，宽度包括5～20μm，厚度包括500nm～5μm。

3.根据权利要求1所述的扫描探针，其特征在于，所述金属导电层的材料包括Pt、W、Ir、Ta、Ti、Ru、Cu、Ni、Fe、Mn、Co、Pd、Au、Cr、Mo、Ge、Re、Rh、Nb、Hf和Zr中的一种或多种组合，所述金属导电层的厚度包括20～150nm。

4.根据权利要求1所述的扫描探针，其特征在于，所述绝缘层的材料包括h-BN、SiC、金刚石、Al₂O₃、AlN和c-BN中的一种。

5.根据权利要求1或4所述的扫描探针，其特征在于，所述绝缘层的厚度小于1nm。

6.根据权利要求5所述的扫描探针，其特征在于，所述绝缘层为单原子层、双原子层或三原子层的连续薄膜。

7.根据权利要求1所述的扫描探针，其特征在于，所述金属反射层的材料包括Au、Pt、Fe、Mn、Co、Pd、Au、Cr、Mo、Ge、Al中的至少一种，所述金属反射层的厚度包括20～150nm。

8.根据权利要求书1所述的扫描探针，其特征在于，所述探针本体的类型包括原子力显微镜探针。

9.一种扫描探针的制备方法，其特征在于，至少包括以下步骤：

1)提供一探针本体，所述探针本体包括针尖和承载所述针尖的微悬臂，所述微悬臂设有上表面和与所述上表面对应的下表面，所述针尖连接于所述微悬臂的上表面靠近端部；

2)沉积金属导电层，覆盖所述针尖以及所述微悬臂的上表面；

3)沉积绝缘层，覆盖所述金属导电层；

4)沉积金属反射层，覆盖所述微悬臂的下表面。

10.根据权利要求9所述的扫描探针的制备方法，其特征在于，还包括于步骤2)之前对所述探针本体进行清洗的步骤。

11.根据权利要求9或10所述的扫描探针的制备方法，其特征在于，沉积所述绝缘层的方法包括化学气相沉积法或等离子体辅助化学气相沉积法。