[发明专利]一种深紫外激光器的和频发生器

说明书

本发明实施例提供了一种深紫外激光器的和频发生器，包括：电磁源，产生沿传播路径发射的基本场；倍频装置、第一和频装置、双波长波片和第二和频装置，沿所述传播路径依次布置，其中，所述倍频装置用于使经过的所述基本场产生二倍频场，所述第一和频装置用于使经过的所述基本场和所述二倍频场和频以产生三倍频场，所述第二和频装置用于使经过的所述二倍频场和所述三倍频场和频以产生五倍频场，所述倍频装置与所述第一和频装置由同一种晶体构成。本发明实施例的和频发生器系统保证了五倍频和频效果。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种深紫外激光器的和频发生器。

背景技术

现如今，在激光技术领域，213nm深紫外固体激光器用于晶圆缺陷的在线监测设备，是1064nm波长激光经过多次倍频及和频产生的。和频213nm激光的和频方案有多种，五倍频场可以利用基频光与四倍频进行和频，或者采用二倍频光和三倍频光进行和频。每种方案都有各自的优缺点。

在紫外倍频的晶体有硼酸钡BBO、三硼酸锂LBO、PPLN、CLBO、KBBF等，每种晶体在倍频过程中都各自的优缺点。因此，考虑到上述因素，有必要设计一种较优良的五倍频和频方案。

发明内容

本发明的目的在于提供一种和频发生器系统，能够保证五倍频和频效果。本发明实施例提供的一种和频发生器系统，包括：电磁源，产生沿传播路径发射的基本场；

倍频装置、第一和频装置、双波长波片和第二和频装置，沿所述传播路径依次布置；

其中，所述倍频装置用于使经过的所述基本场产生二倍频场，所述第一和频装置用于使经过的所述基本场和所述二倍频场和频以产生三倍频场，所述第二和频装置用于使经过的所述二倍频场和所述三倍频场和频以产生五倍频场，所述倍频装置与所述第一和频装置由同一种晶体构成。

较佳地，所述倍频装置和所述第一和频装置由三硼酸锂LBO晶体构成，所述倍频装置被设置为145℃-155℃，并且所述第一和频装置被设置为45℃-55℃。

较佳地，所述倍频装置被设置成采用所述LBO晶体的I类相位匹配，所述第一和频装置被设置成采用所述LBO晶体的II类相位匹配。

较佳地，所述第一和频晶体的端面具有切割角。

较佳地，所述第一和频晶体的端面的切割角不镀膜。

较佳地，所述第二和频装置由硼酸钡BBO晶体构成，所述第二和频装置被设置为45℃-55℃。

较佳地，所述第二和频装置被设置为采用所述BBO晶体的I类相位匹配。

较佳地，通过调整所述双波长波片的角度来控制所述和频发生器的出光功率。

较佳地，所述双波长波片由石英制成。

较佳地，还包括：二向色镜，所述二向色镜沿所述传播路径设置在所述第一和频装置与所述双波长波片之间。

本发明实施例的和频发生器系统包括电磁源、倍频装置、第一和频装置、双波长波片和第二和频装置。由于电磁源产生沿传播路径发射的基本场，倍频装置、第一和频装置、双波长波片和第二和频装置沿传播路径依次布置，倍频装置用于使经过的基本场产生二倍频场，第一和频装置用于使经过的基本场和二倍频场和频以产生三倍频场，第二和频装置用于使经过的二倍频场和三倍频场和频以产生五倍频场，并且倍频装置与第一和频装置由同一种晶体构成，因此，保证了五倍频和频效果。

附图说明

图1为本发明一个实施例的和频发生器的示意图。

图2为本发明另一实施例的和频发生器的示意图。

附图标记：

10、电磁源；11、倍频装置；12、第一和频装置；13、第二和频装置；