[发明专利]一种五倍频激光的和频方法

说明书

本发明实施例提供了一种五倍频激光的和频方法，包括：准备步骤：准备倍频装置、第一和频装置、双波长波片、第二和频装置以及电磁源；光路构建步骤：使得所述倍频装置、所述第一和频装置、双波长波片和所述第二和频装置沿所述传播路径依次布置，以便进行相位匹配；温度控制步骤：控制倍频装置、第一和频装置和第二和频装置的温度，所述倍频装置用于使经过的所述基本场产生二倍频场，所述第一和频装置用于使经过的所述基本场和所述二倍频场和频以产生三倍频场，并且所述第二和频装置用于使经过的所述二倍频场和所述三倍频场和频以产生五倍频场。本发明实施例的五倍频激光的和频方法保证了五倍频和频效果。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种五倍频激光的和频方法。

背景技术

现如今，在激光技术领域，213nm深紫外固体激光器用于晶圆缺陷的在线监测设备，是1064nm波长激光经过多次倍频及和频产生的。和频213nm激光的和频方案有多种，五倍频场可以利用基频光与四倍频进行和频，或者采用二倍频光和三倍频光进行和频，每种方案都有各自的优缺点。

在紫外倍频的晶体有硼酸钡BBO、三硼酸锂LBO、PPLN、CLBO、KBBF等，每种晶体在倍频过程中都各自的优缺点。因此，考虑到上述因素，有必要设计一种较优良的五倍频和频方案。

发明内容

本发明的目的在于提供一种五倍频激光的和频方法，能够保证五倍频和频效果。本发明实施例提供的一种五倍频激光的和频方法包括：准备步骤：准备倍频装置、第一和频装置、双波长波片、第二和频装置以及电磁源，其中所述电磁源用于产生沿传播路径发射的基本场，并且所述倍频装置与所述第一和频装置由同一种晶体构成；光路构建步骤：使得所述倍频装置、所述第一和频装置、双波长波片和所述第二和频装置沿所述传播路径依次布置；温度控制步骤：控制倍频装置、第一和频装置和第二和频装置的温度，所述倍频装置用于使经过的所述基本场产生二倍频场，所述第一和频装置用于使经过的所述基本场和所述二倍频场和频以产生三倍频场，并且所述第二和频装置用于使经过的所述二倍频场和所述三倍频场和频以产生五倍频场。

较佳地，所述准备步骤包括：准备三硼酸锂LBO作为所述倍频装置和所述第一和频装置，所述温度控制步骤包括：将所述倍频装置设置为145℃-155℃，并且将所述第一和频装置设置为45℃-55℃。

较佳地，所述光路构建步骤包括：对所述倍频装置采用所述LBO晶体的I类相位匹配，对所述第一和频装置采用所述LBO晶体的II类相位匹配。

较佳地，所述第一和频装置的端面设置有切割角。

较佳地，所述第一和频装置的端面的切割角不镀膜。

较佳地，所述准备步骤包括：准备硼酸钡BBO作为所述第二和频装置，所述温度控制步骤包括：将所述第二和频装置设置为110℃-130℃。

较佳地，所述光路构建步骤包括：对所述第二和频装置采用所述BBO晶体的I类相位匹配。

较佳地，所述方法还包括：功率控制步骤：通过调整所述双波长波片的角度来控制所述和频发生器的出光功率。

较佳地，所述准备步骤还包括：准备石英作为所述双波长波片。

较佳地，所述准备步骤还包括：准备二向色镜，其中，所述光路构建步骤还包括：使所述二向色镜沿所述传播路径设置在所述第一和频装置与所述双波长波片之间。

本发明实施例的五倍频激光的和频方法包括准备步骤、光路构建步骤和温度控制步骤，倍频装置用于使经过的基本场产生二倍频场，第一和频装置用于使经过的基本场和二倍频场和频以产生三倍频场，并且第二和频装置用于使经过的二倍频场和三倍频场和频以产生五倍频场。因此，保证了五倍频和频效果。

附图说明

图1为本发明一个实施例的五倍频激光的和频方法的示意性流程图。