[发明专利]双真空室离子束加工系统及加工方法

权利要求书

1.双真空室离子束加工系统，包括相互连通的离子源真空室和工件真空室，其特征在于，所述工件真空室内设有：

工件翻移组件，吊装在工件真空室内，用于固定待加工工件，并带动待加工工件在工件真空室内移动、翻转。

2.根据权利要求1所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述离子源真空室和工件真空室上下设置，且所述工件真空室设置在离子源真空室的上方。

3.根据权利要求2所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述工件翻移组件包括：

工件卡盘，用于安装固定待加工工件；

工件翻转车，与所述工件卡盘连接以带动工件卡盘翻转；

直线模组，设置在工件真空室的顶部，用于固定所述工件翻转车，并使工件翻转车移动。

4.根据权利要求3所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述工件卡盘包括卡盘本体、以及用于将待加工工件与卡盘本体连接的锁紧件；所述锁紧件包括：

夹板，呈L型结构，包括与卡盘本体表面平行的水平段，以及与卡盘本体表面垂直的竖直段；

顶紧螺丝，穿设在所述水平段上用于将夹板与卡盘本体连接；

工件挂钩、垫块，分设在所述竖直段的两端用于夹紧待加工工件，所述垫块沿竖直段可移动设置，以匹配不同厚度的待加工工件。

5.根据权利要求4所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述夹板沿卡盘本体的径向可移动设置，以匹配不同大小的待加工工件。

6.根据权利要求3所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述工件翻转车包括：

支架，分别与所述直线模组、工件卡盘连接；

翻转电机，设置在所述支架上；

传动件，一端与翻转电机的输出轴连接，另一端与工件卡盘连接，以通过翻转电机带动工件卡盘翻转。

7.根据权利要求6所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述支架包括两个侧支板、以及用于固定两个所述侧支板的连接板；两个所述侧支板之间通过转轴可转动设置有所述工件卡盘；

所述传动件包括与所述翻转电机的输出轴连接的主动轮、设置在所述转轴上的从动轮、以及绕设在所述主动轮和从动轮上的同步带。

8.根据权利要求3所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述直线模组上设有：

第一限位传感器，用于限定工件翻转车的加工位置；

第二限位传感器，用于限定工件翻转车的换料位置。

9.根据权利要求2所述的双真空室离子束加工系统，其特征在于，所述离子源真空室内设有：离子源和法拉第杯；

所述离子源的发射端竖直向上，以对位于工件真空室内的待加工工件进行加工；

所述法拉第杯设置在所述离子源真空室的顶部，用于对离子源发出的离子束的束流强度进行监控。

10.一种如权利要求1-9任一所述的双真空室离子束加工系统的加工方法，其特征在于，先将工件安装在真空室的工件翻移组件上，然后使工件翻移组件带动工件翻转至加工面朝下，并控制工件翻移组件移动到待加工位置，最后关闭工件真空室，将工件真空室抽气至真空工作室中的压力状态。