[发明专利]一种提升液体金属有机源使用量的装置

说明书

本发明提供一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶，备用钢瓶上设置有备用钢瓶进气阀门、备用钢瓶出气阀门及备用钢瓶旁路阀，备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门分别设置在备用钢瓶上端两侧，备用钢瓶旁路阀设置在备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门之间，备用钢瓶旁设置有使用瓶，使用瓶上设置有使用瓶进气阀门、使用瓶出气阀门以及使用瓶旁路阀，使用瓶进气阀门和使用瓶出气阀门设置在使用瓶的上端两侧，使用瓶旁路阀设置在使用瓶进气阀门和使用瓶出气阀门之间，备用钢瓶直接在室温下使用，使用瓶设置在恒温水槽内使用。备用瓶在使用瓶正常使用剩余30%以内切换至备用瓶模式。简化装置、降低成本、提高安全性。

技术领域

本发明涉及金属有机源领域，尤其涉及一种提升液体金属有机源使用量的装置。

背景技术

目前在使用金属有机源时，需求量逐步增加，而限于机台尺寸以及配套恒温水槽规格，金属有机源包装钢瓶尺寸有限。以往一些专利设计需要增加复杂的控制系统，在生产过程中将金属有机源逐步补充到使用钢瓶中来加大使用量，伴随着一系列的控制风险和安全隐患。因此，解决目前生产过程中金属有机源包装瓶尺寸不足导致存在控制风险和安全隐患的问题就显得尤为重要了。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明的目的是提供一种提升液体金属有机源使用量的装置，通过对液态金属有机源使用状态的精确计算，提供了一种简便易行的装置，取消了复杂的液位监测和阀门控制系统，大大降低了成本并提高了操作的简便性，解决了目前生产过程中金属有机源包装瓶尺寸不足导致存在控制风险和安全隐患的问题。

本发明提供一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶，所述备用钢瓶上设置有备用钢瓶进气阀门、备用钢瓶出气阀门及备用钢瓶旁路阀，所述备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门分别设置在备用钢瓶上端两侧，备用钢瓶旁路阀设置在备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门之间，所述备用钢瓶旁设置有使用瓶，所述使用瓶上设置有使用瓶进气阀门、使用瓶出气阀门以及使用瓶旁路阀，使用瓶进气阀门和使用瓶出气阀门设置在使用瓶的上端两侧，使用瓶旁路阀设置在使用瓶进气阀门和使用瓶出气阀门之间，所述备用钢瓶直接在室温下使用，所述使用瓶设置在恒温水槽内使用。

进一步改进在于：所述备用钢瓶下端设置有电子秤，通过电子秤对备用钢瓶的重量进行称量。

进一步改进在于：所述备用钢瓶旁路阀和使用瓶旁路阀直接与备用钢瓶及使用瓶组合制造，或者备用钢瓶旁路阀和使用瓶旁路阀独立制造且与备用钢瓶及使用瓶通过VCR接口连接。

进一步改进在于：装置的工作状态分为两种，一种为正常使用，一种为超量使用，正常使用时，备用钢瓶旁路阀打开，备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门关闭，备用钢瓶处于备用状态；超量使用阶段，备用钢瓶旁路阀关闭，备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门打开，备用钢瓶处于使用状态。

具体设计计算如下：

使用瓶中液态源饱和浓度为C1；备用瓶中液态源饱和浓度为C2；使用瓶剩余X%时，进入超量状态，控制适当的X%可以保证超量使用模式下，使用瓶不会溢出。

以17KgTMGa为例，使用瓶（17Kg）极端使用条件（5°C，800torr）。对应饱和蒸汽压为：88.59torr；室温条件下备用瓶（17Kg）极端条件（25°C，800torr）对应饱和蒸汽压为：228.09。备注：TMGa饱和蒸汽压公式：logP=8.07-1703/T。

正常使用阶段，使用瓶消耗速率正比于88.59；超量阶段，由于备瓶超量供应高浓度TMGa，使得使用瓶内TMGa增加，增加速率正比于（228.09-88.59）。因此，在使用瓶消耗1Kg的同条件下，超量使用时，使用瓶新增约（228.09-88.59）/88.59=1.57kg.

因此，对于使用瓶来说，剩余百分比x%时，可以进入超量使用状态。X计算如下：2.57X=1；X=38.9%。