[发明专利]一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置

说明书

本发明公开了一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，包括腔体、腔体内制冷装置、腔体外冷却装置、控制显示装置及样品固定装置，所述腔体内制冷装置包括支撑柱及设置在支撑柱上的S型紫铜盘管，所述腔体外冷却装置包括氮气罐、液氮罐、紫铜盘管及紫铜管，所述紫铜盘管设置在液氮罐内，且与氮气罐之间通过连接管道相连通，所述紫铜盘管与S型紫铜盘管之间通过紫铜管连通。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对加工温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置。

技术背景

真空镀膜技术（vacuum deposition）是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。真空镀膜相对于湿式镀膜方法而言，提高了薄膜的结合能力，能更好地控制好薄膜的均匀程度和薄膜的厚度，并且减少了对环境的污染。随着真空镀膜技术的不断发展，不同材料对镀膜加工时候的温度需求也在不断变化，但是目前一直没有一种便携式低温样品台来解决该类问题。为此该发明提供了一种解决方案思路，基于液氮制冷的升降温便携式样品台。

发明内容

为了改进当前的真空镀膜机在进行真空镀膜工作时候，不同的材料的基材对工作温度调节范围的不足，本发明提出了一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置。

本发明技术方案如下:

一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，其特征在于，包括腔体、腔体内制冷装置、腔体外冷却装置、控制显示装置及样品固定装置，所述腔体内制冷装置包括支撑柱及设置在支撑柱上的S型紫铜盘管，所述腔体外冷却装置包括氮气罐、液氮罐、紫铜盘管及紫铜管，所述紫铜盘管设置在液氮罐内，且与氮气罐之间通过连接管道相连通，所述紫铜盘管与S型紫铜盘管之间通过紫铜管连通。

所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，其特征在于，所述控制显示装置包括控制显示组件、温度传感器及控制阀门，所述控制显示组件设置在氮气连接管道上，所述温度传感器设置在腔体外侧，所述控制阀门设置在氮气罐顶部，所述控制显示组件与温度传感器电信号相连，所述控制阀门与控制显示组件电信号相连。

所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，其特征在于，所述样品固定装置包括基材紧固装置及样品台固定装置，所述基材紧固装置包括螺杆、螺母及限位板，所述螺杆固定设置在腔体顶部，所述限位板穿设在螺杆上，并通过螺母进行夹紧；所述样品台固定装置包括固定圆盘，所述固定圆盘固定于腔体上表面，并通过固定圆盘与真空镀膜机固定连接。

所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，其特征在于，所述S型紫铜盘管上设有进气口及出气口，所述进气口与紫铜管相连，并通过出气口排出腔体。

所述的一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，其特征在于，所述紫铜管的外面包裹有石棉。

本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对加工温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的腔体内部示意图；

图中：1-液氮罐；2-紫铜盘管；3-紫铜管；4-螺母；5-限位板；6-螺栓；7-固定圆盘；8-温度传感器；9-腔体；10-样品基材；11-防水耐高温线缆；12-控制显示组件；13-阀门；14-氮气罐；15-支撑柱；16-S型紫铜盘管；17-出气口；18-进气口。

具体实施方式