[发明专利]可调谐法布里-珀罗滤波器元件及其制造方法和光谱仪设备

权利要求书

1.一种可调谐法布里-珀罗FP滤波器元件(100)，包括：

第一FP滤波器堆叠(110)，被布置在可移动的第一载体元件(120)处；以及

第二FP滤波器堆叠(115)，以与所述第一FP滤波器堆叠(110)相对的配置被布置在第二载体元件(125)处，

光电检测器(210)，在所述第一FP滤波器堆叠(110)和所述第一载体元件(120)之间被布置在所述可移动的第一载体元件(120)处；

其中，在致动时，具有所述第一FP滤波器堆叠(110)的所述第一载体元件(120)相对于具有所述第二FP滤波器堆叠(115)的所述第二载体元件(125)可垂直地移动，用于调整相对的所述第一FP滤波器堆叠(110)和所述第二FP滤波器堆叠(115)之间的距离(d₁)，并且

其中，所述可移动的第一载体元件(120)在悬空硅SON衬底(130)中形成为SON结构，其中，所述SON结构(120)借助于机械弹簧元件(135)相对于所述SON衬底(130)可移动地悬置。

2.根据权利要求1所述的滤波器元件(100)，还包括：

静电致动器(155)，所述静电致动器具有第一电极结构(155-1)和第二电极结构(155-2)，用于通过所述第一电极结构(155-1)和所述第二电极结构(155-2)之间的电位差来实现静电致动。

3.根据权利要求2所述的滤波器元件(100)，其中，所述第一电极结构(155-1)被布置在所述第一载体元件(120)处，并且所述第二电极结构(155-2)被布置在所述第二载体元件(155-2)处。

4.根据权利要求2所述的滤波器元件(100)，其中，所述第一电极结构(155-1)被布置在所述第一载体元件(120)处，并且所述第二电极结构(155-2)被布置为所述SON衬底(130)中的导电区域。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的滤波器元件(100)，其中，所述第一电极结构(155-1)和所述第二电极结构(155-2)中的一个电极结构是在所述滤波器堆叠(110、115)中的一个滤波器堆叠内的导电层。

6.根据权利要求1所述的滤波器元件(100)，其中，所述第一载体元件(120)处的所述光电检测器(210)被集成在所述SON结构(120)的半导体材料中。

7.根据权利要求1所述的滤波器元件(100)，其中，所述第一载体元件(120)处的所述光电检测器(210)被集成在所述SON结构(120)上外延生长的半导体层中。

8.根据权利要求1或2所述的滤波器元件(100)，其中，所述第一FP滤波器堆叠(110)和所述第二FP滤波器堆叠(115)以面对面的配置被布置。

9.根据权利要求1或2所述的滤波器元件(100)，其中，所述弹簧元件(135)被形成为在所述SON结构(120)和所述SON衬底(130)之间的扭转和/或弯曲弹簧元件。

10.根据权利要求1或2所述的滤波器元件(100)，其中，盖元件(150)被布置在所述SON衬底(130)上，用于密封地覆盖所述SON结构(120)以保持在所述FP滤波器元件内的限定内部压力。

11.根据权利要求10所述的滤波器元件(100)，还包括：

柱状元件(160)，其延伸穿过所述可移动的第一载体元件(120)和所述第一FP滤波器堆叠(110)并且在所述SON衬底(130)和所述盖元件(150)之间，其中，所述柱状元件(160)机械地耦合在所述SON衬底(130)和所述盖元件(150)之间，并且与所述可移动的第一载体元件(120)和所述第一FP滤波器堆叠(110)机械地去耦。