[发明专利]一种陶瓷标定板基板的制造方法有效
| 申请号： | 202010050048.9 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111145273B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 李珍;陈曦;李弋舟 | 申请（专利权）人： | 长沙韶光铬版有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/80 | 分类号： | G06T7/80;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;胡凌云 |
| 地址： | 410129 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 标定 板基板 制造 方法 | ||
1.一种陶瓷标定板基板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、提供陶瓷基板，抛光，洗净，备用；
S2、在S1获得的陶瓷基板的至少1个表面镀一层金属薄膜，在所述金属薄膜的表面制作光刻胶层；
S3、对S2处理后的陶瓷基板依次进行曝光、显影、蚀刻、去胶处理后，在陶瓷基板上获得标定图案；
S4、将S3获得的带有标定图案的陶瓷基板置于20-45℃的强碱溶液中浸泡2-10min，清洗，干燥后，获得陶瓷标定板基板；
其中，所述强碱溶液的质量浓度为15-25wt%；所述强碱为氢氧化钠、氢氧化钾中的一种或几种。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，S1中，抛光后，通过超声清洗，去除陶瓷基板表面的脏污。
3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，S2中，通过磁控溅射法、电子束镀膜法、蒸发镀膜法中的一种在陶瓷基板表面制作金属薄膜。
4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，S2中，所述金属薄膜包括由内至外依次堆叠的第一氧化铬层、氮化铬层和第二氧化铬层。
5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，S2中，所述金属薄膜的厚度为100-200nm。
6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，S2中，光刻胶层的厚度为500-700nm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的制造方法，其特征在于，S4中，将陶瓷基板置于25-40℃的强碱溶液中浸泡2-10min，清洗，干燥后，获得陶瓷标定板基板。
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