[发明专利]一种无接触运输的超声悬浮装置

说明书

本发明涉及超声近场悬浮运输领域，具体公开了一种无接触运输的超声悬浮装置，包括固定座和支撑板，支撑板的上侧设有真空腔，真空腔上连接有真空管，真空管与真空泵连接，支撑板的下侧设有悬浮板，悬浮板上设有真空吸盘，悬浮板的一侧固定有超声换能器，超声换能器与超声电源直连，支撑板下侧安装有喷嘴，真空腔内设有压力板，喷嘴通过压力板连接有气压管，支撑板的两侧安装有皮带，固定座上设有用于带动皮带运转的驱动组件。该无接触运输的超声悬浮装置可实现各种形态、各种规格尺寸的高纯度、超薄、超大、易碎产品的运输搬运，并可以有效的降低破损率，提高表面的光洁度，提升产品性能。

技术领域

本发明涉及超声近场悬浮运输领域，具体是一种无接触运输的超声悬浮装置。

背景技术

太阳能资源丰富、分布广泛，是21世纪最具发展潜力的可再生能源。随着全球能源短缺和环境污染等问题日益突出，太阳能光伏发电因其清洁、安全、便利、高效等特点，已成为世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业。太阳能光伏发电主要是由太阳能电池板通过吸收太阳光，将太阳辐射能通过光电效应或者光化学效应直接或间接转换成电能。太阳能光伏发电的成本，主要由太阳能电池片的光电转换效率来体现。提高太阳能电池片的转化效率的手段很多，但是在同一类型的太阳能电池片的生产过程中，保证电池片发电面的光洁，可有效确保太阳能电池片的一致性，同时，也可提高电池片的转换效率。太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测—表面制绒—扩散制结—去磷硅玻璃—等离子刻蚀—镀减反射膜—丝网印刷—快速烧结等。传统的生产工艺流程中，电池片会采用皮带、花篮、小车等各种工具进行搬运、翻转、抓取与运输，电池片无法避免的会与金属、皮带等工具接触、摩擦、刮划，从而使电池片表面光洁度下降，最终影响到电池片的转化效率。

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。目前，集成电路的晶圆尺寸一般为4寸、6寸、8寸、12寸，18寸，厚度随着直径的增长而增长，直径越大所能刻制的集成电路越多，芯片的成本也就越低；而晶圆的纯度越高，所制造出来的集成电路的性能越好。目前，高品质的集成电路的制造，要求芯片的纯度达到99.9999999％以上，而用于航天航空、军事仪器上的二级管路、整流器件级、电路级的集成电路和半导体分离器件要求晶圆纯度达到99.9999999999％以上。故而，在确保单晶硅棒自身纯度的前提下，在单晶硅棒到晶圆，乃至晶圆到集成电路的制作过程中，各个加工流程之间的搬运、装卸、衔接等会对晶圆造成二次污染。

玻璃被广泛的用于手表、手机、电视等日常生活用品的表面屏幕。目前手机的屏幕尺寸由原先的4寸已经扩大到5.5寸乃至6寸，甚至将用户iPad系列平板电脑产品，其屏幕尺寸达到了9.7英寸。而电视机品目的尺寸更是大到50寸，65寸。为了产品的轻巧化，这些电子元器件的屏幕厚度一般不超过1毫米。类似这种超大、超薄的易碎的零件的加工、运输过程中，传统的机械搬运将造成不可挽回的损失。

不管是要求转化效率的电池片，还是易碎易损的玻璃屏幕，在传统的机械加工、流水线装配主要还是依靠传送带、人工、机械手等接触式的抓取、装配和搬运，该类形式机构，往往其效率低下，且对物品存在二次接触式污染，甚至会对物品造成无可修复的损伤。有鉴于此，本发明提出了一种无接触运输的超声悬浮装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种无接触运输的超声悬浮装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种无接触运输的超声悬浮装置，包括固定座和支撑板，支撑板的上侧设有真空腔，支撑板的下侧设有悬浮板，悬浮板上设有真空吸盘，悬浮板的一侧固定有超声换能器，支撑板下侧安装有喷嘴，真空腔内设有压力板，喷嘴通过压力板连接有气压管，气压管直接连接电磁阀、稳压阀、调压阀，最终连接气泵，提供3-6公斤的压强；该装置适用于单工位与多工位的悬浮片的抓取与运输；超声换能器的振动频率在25KHz-40KHz，其可满足长度为70mm-2200mm的悬浮板，悬浮力保持不变；