[发明专利]一种碱性蚀刻液循环再生工艺

权利要求书

1.一种碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，至少包括：碱性蚀刻生产线(1)、废液管道(101)、废液收集缸(2)、废液罐(3)、调整槽(4)、电解槽(5)、第一再生液罐(6)、氨气吸收塔(12)、废气处理塔(13)、调配罐(8)、再生子液罐(9)、泵；所述泵包括第一泵(R1)、第二泵(R2)、第三泵(R3)、第四泵(R4)、第七泵(R7)、第八泵(R8)、第十一泵(R11)、第十二泵(R12)；所述碱性蚀刻生产线(1)通过废液管道(101)与废液收集缸相连接；所述废液收集缸(2)、废液罐(3)、调整槽(4)、电解槽(5)依次连接；所述废液收集缸(2)与废液罐(3)之间设有第一泵(R1)；所述废液罐(3)与调整槽(4)之间设有第二泵(R2)；所述调整槽(4)与电解槽(5)之间设有第三泵(R3)，所述调整槽(4)与电解槽(5)之间的连接方式为双向连接；所述调整槽(4)通过第四泵(R4)与第一再生液罐(6)相连接；所述第一再生液罐(6)与碱性蚀刻生产线(1)相连接；所述电解槽(5)、氨气吸收塔(12)、废气处理塔(13)依次相连；所述氨气吸收塔(12)与废气处理塔(13)之间设有第十一泵(R11)；所述废气吸收塔(12)分别连接调配罐(8)和调整槽(4)；所述氨气吸收塔(12)与所述调配罐(8)之间设有第十二泵(R12)；所述调配罐(8)、再生子夜罐(9)、碱性蚀刻生产线(1)依次连接，所述配罐(8)与再生子夜罐(9)之间设有第七泵(R7)，所述再生子夜罐(9)与碱性蚀刻生产线(1)之间设有第八泵(R8)。

2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，所述第十二泵(R12)靠近氨气吸收塔(12)。

3.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，所述碱性蚀刻液循环再生工艺还包括第十泵(R10)与温控冷却塔(19)；所述调整槽(4)通过第十泵(R10)与温控冷却塔(19)相连接。

4.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，所述碱性蚀刻液循环再生工艺还包括整流器(11)、鼓风机(10)；所述电解槽(5)连接有整流器(11)；所述电解槽(5)还连接有鼓风机(10)，其中电解槽(5)与鼓风机(10)之间设有第九泵(R9)。

5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，所述碱性蚀刻液循环再生工艺还包括氨洗水管道(102)、第二再生液罐(7)、第六泵(R6)；所述碱性蚀刻生产线(1)通过氨洗水管道(102)与废液收集缸(2)相连接；所述调整槽(4)的两端分别连接有第一再生液罐(6)和第二再生液罐(7)；所述第二再生液罐(7)、调配罐(8)、再生子液罐(9)依次连接；所述第二再生液罐(7)还与调整槽(4)相连；所述第二再生液罐(7)与调配罐(8)之间设有第六泵(R6)。

6.根据权利要求5所述的碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，所述第六泵(R6)靠近第二再生液罐(7)。

7.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生工艺，其特征在于，所述碱性蚀刻液循环再生工艺还包括废水收集缸(14)、废水罐(15)、氨氮水处理罐(16)、再生水循环罐(17)、漂白水罐(18)、第十三泵(R13)、第十四泵(R14)、第十五泵(R15)、第十六泵(R16)；所述碱性蚀刻生产线(1)、废水收集缸(14)、废水罐(15)、氨氮水处理罐(16)、再生水循环罐(17)依次相连；所述废水收集缸(14)与废水罐(15)之间设有第十三泵(R13)；所述废水罐(15)与氨氮水处理罐(16)之间设有第十四泵(R14)；所述氨氮水处理罐(16)与再生水循环罐(17)之间设有第十五泵(R15)；所述氨氮水处理罐(16)连接有漂白水罐(18)，且氨氮水处理罐(16)与漂白水罐(18)之间设有第十六泵(R16)；所述再生水循环罐(17)分别连接调配罐(8)和调整槽(4)。