[发明专利]一种过滤器检测设备在审
申请号: | 202010051464.0 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111175212A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 王非;邹志军;李启东 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | G01N15/08 | 分类号: | G01N15/08;B01J13/00 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 王伟珍 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 过滤器 检测 设备 | ||
本发明属于过滤器检测领域,公开了一种过滤器检测设备,用于测试过滤器的过滤效果。一种过滤器检测设备包括:架体;控制器,安装在架体上,用于控制过滤器检测设备运行;气溶胶发生机构,安装在架体上并与控制器电性连接,用于产生气溶胶颗粒;风机机构,安装在架体上并与控制器电性连接,用于将空气与气溶胶颗粒进行混合,形成气溶胶混合气体;稀释机构,安装在架体上并与控制器电性连接,用于对气溶胶混合气体进行稀释,形成稀释后混合气体;检测机构,具有至少一个安装过滤器的测试口,气溶胶混合气体经过过滤器过滤形成待测气体;测试机构,位于测试口并与控制器电性连接,用于检测待测气体中气溶胶颗粒的含量。
技术领域
本发明属于过滤器检测领域,具体涉及一种过滤器检测设备。
背景技术
随着科学技术的进步,各行业各领域对室内空气洁净度的要求越来越高。特别是微电子和生物制药行业。空气中的颗粒浓度直接影响了产品的质量和合格率。
为了减少空气中悬浮颗粒的浓度,保证空气洁净的洁净度。空气过滤技术是一种比较常见并且成熟的技术。通过空气过滤器过滤掉空气中的颗粒物,并将洁净的空气输入到洁净室中,利用良好的气体流组织设计就能保证洁净室中空气洁净度。空气过滤技术核心的部件是过滤器,过滤效率高的过滤器可以有效的去除空气中的颗粒物。而过滤器效率的高低也决定了过滤器的价格。特别是高效(HEPA)和超高效(ULPA)过滤器,其0.1μm颗粒的过滤效率可高达99.999%以上。而其价格也是普通过滤器的数十倍。
由于高效(HEPA)和超高效(ULPA)过滤器价格昂贵,所以这些过滤器一般都使用在产品生产的关键工艺部分。因此高效过滤器的效率是否合格,是否存在泄露,阻力是否达标都关系到产品良品率和产量。
为了保证过滤器出厂的合格率,需要对过滤器出厂进行检测。不合格的过滤器很容易引起洁净室洁净度等级的超标,这可能对用户造成某一批次的产品报废,而带来巨大的经济损失。对于生产厂家来说,有缺陷的产品出厂也意味着售后服务成本的增加,而造成生产经营成本的增加,降低产品的竞争力。
现有技术中的过滤器检测设备,一方面输送的气体浓度较低,无法满足测试要求,另一方面由于高效过滤器面积较大,当这部分过滤器存在局部泄漏时,对过滤器整体的效率影响不大。因此会出现如下情况:过滤器效率达到标准要求,但过滤器存在局部泄漏。处在过滤器泄漏点的下方的区域仍有可能存在被颗粒污染的情况发生。此外,该过滤器测试设备的测试效率较低。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而进行的,目的在于提供一种过滤器检测设备。本发明提供了一种过滤器检测设备,具有这样的特征,包括:架体;气溶胶发生机构,安装在架体上,用于产生气溶胶颗粒;风机机构,安装在架体上,用于将空气与气溶胶颗粒进行混合,形成气溶胶混合气体;稀释机构,安装在架体上,用于对气溶胶混合气体进行稀释,形成稀释后混合气体;检测机构,具有至少一个用于安装过滤器的测试口,稀释后混合气体经过过滤器过滤形成待测气体;测试机构,与控制器电性连接,用于检测稀释后混合气体以及待测气体中气溶胶颗粒的浓度;控制器,安装在架体上并对风机机构、稀释机构、检测机构以及测试机构的运行进行控制。
在本发明提供的一种过滤器检测设备中,还可以具有这样的特征:其中,风机机构包括:风箱,具有进风口以及出风口;风机,安装在风箱内并与控制器电性连接,用于将气溶胶混合气体输送至检测机构。
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