[发明专利]薄膜压阻材料及其制备方法、电子器件有效
申请号: | 202010052767.4 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111253598B | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 唐建石;赵振璇;戴媛;张正友;原剑;吴华强;钱鹤;高滨 | 申请(专利权)人: | 清华大学;深圳市腾讯计算机系统有限公司 |
主分类号: | C08J5/18 | 分类号: | C08J5/18;C08J3/215;C08L75/04;C08K3/08;G01L1/18 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 赵翠萍;张颖玲 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 材料 及其 制备 方法 电子器件 | ||
本申请实施例提供一种薄膜压阻材料及其制备方法、电子器件,其中,制备方法包括:提供分散有金属纳米材料的分散剂、聚合物弹性体和第一溶剂;将所述聚合物弹性体溶解于所述第一溶剂中,形成聚合物溶液;将所述分散剂与所述聚合物溶液混合,形成预固化剂;对所述预固化剂进行成膜处理,形成所述薄膜压阻材料。通过本申请,能够使所形成的薄膜压阻材料在具备压阻效应的同时还能够集成多种其他功能,扩展了薄膜压阻材料的应用范围,且可以适用于任何类型的金属型薄膜压阻材料的制备。
技术领域
本申请实施例涉及传感器领域,涉及但不限于一种薄膜压阻材料及其制备方法、电子器件。
背景技术
基于人工智能的电子器件的迅猛发展,各类传感器研制成为目前商业界和科研界的关注热点,而基于各类监测、智能机器人和人机交流等技术开发的薄膜阵列式微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)压力传感器成为目前的急需产品。
目前,常用的压力传感器的薄膜压阻材料为碳型材料,由具有弹性的聚合物弹性体和导电颗粒构成,其中导电颗粒通常使用碳型纳米材料,包括石墨烯、碳纳米纤维、碳纳米线、碳球等。将聚合物弹性体和导电颗粒直接混合,制备出质地为黑色不透明的具备压阻效应的单功能压阻材料。
但是,目前仅公开报道过各类单功能压阻材料,尚未有一种具备压阻效应的同时还具备其他附属功能的多功能薄膜压阻材料,且尚未提出一种适用于任何金属型薄膜压阻材料的制备方案。
发明内容
本申请实施例提供一种薄膜压阻材料及其制备方法、电子器件,能够使得所形成的薄膜压阻材料在具备压阻效应的同时还能够集成多种其他功能,扩展薄膜压阻材料的应用范围,并且能够适用于任何类型的金属型薄膜压阻材料的制备。
本申请实施例的技术方案是这样实现的:
本申请实施例提供一种薄膜压阻材料的制备方法,包括:
提供分散有金属纳米材料的分散剂、聚合物弹性体和第一溶剂;
将所述聚合物弹性体溶解于所述第一溶剂中,形成聚合物溶液;
将所述分散剂与所述聚合物溶液混合,形成预固化剂;
对所述预固化剂进行成膜处理,形成所述薄膜压阻材料。
本申请实施例提供一种薄膜压阻材料,包括:
聚合物弹性体,用于被溶解于第一溶剂中形成聚合物溶液;
金属纳米材料,用于溶解形成分散剂,使得当所述分散剂与所述聚合物溶液混合时,形成预固化剂,以实现对所述预固化剂进行成膜处理,形成所述金属纳米材料的多个颗粒分散于所述聚合物弹性体中的薄膜压阻材料。
本申请实施例提供一种电子器件,包括:电子器件本体、至少一成膜面和采用上述方法所制备的薄膜压阻材料;
其中,所述成膜面位于所述电子器件本体上;
所述薄膜压阻材料附着于所述成膜面之上。
本申请实施例具有以下有益效果:
由于是将分散剂与聚合物溶液混合,形成预固化剂,且该分散剂中分散有金属纳米材料,因此,最终通过该预固化剂进行成膜处理时所形成的薄膜压阻材料中也具有金属纳米材料,从而可以根据金属纳米材料的物化属性,使得薄膜压阻材料也具有金属纳米材料的物化属性,进而使所形成的薄膜压阻材料在具备压阻效应的同时还能够集成多种其他功能,扩展了薄膜压阻材料的应用范围;同时,由于聚合物溶液是将聚合物弹性体溶解于第一溶剂中所形成的,因此,聚合物溶液中能够分散任何类型的金属纳米材料的分散剂,从而可以适用于任何类型的金属型薄膜压阻材料的制备。
附图说明
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