[发明专利]激光加工玻璃片的方法及激光加工玻璃片倒角的方法及系统

权利要求书

1.一种激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于，包括以下步骤：

在玻璃基板上刻划玻璃样品轮廓即切割线和对准标记，形成待加工样品；

将待加工样品放置在振镜扫描激光系统下，将振镜扫描激光系统的振镜扫描的扫描线设置为多组同形扫描线，利用相机抓取待加工样品上的对准标记，计算当前样品的位置坐标，根据得到的位置坐标，确定扫描线的位置，保证扫描线与切割线对准；

应用振镜扫描激光系统对待加工样品的切割线进行多组同形扫描线多次扫描完成倒角，通过设置激光功率、光斑尺寸、扫描速度、各组扫描线的扫描次数、同形扫描线的条数可以实现对倒角尺寸和倒角角度的精确控制。

2.根据权利要求1所述的激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于：振镜扫描激光系统包括激光器、扫描振镜，激光器发射的激光束经过扩束镜后发射至扫描振镜，所述扫描振镜用于将激光束偏转后从场镜射出至待加工样品上；将待加工样品放置在样品台上。

3.根据权利要求1所述的激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于：各组扫描线由多条与切割线同形的同形线组成；各组同形扫描线中心与切割线保持同心，且无旋转。

4.根据权利要求1或3所述的激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于：各组扫描线的数目按先后加工顺序逐渐减少，直至为一条。

5.根据权利要求1所述的激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于：采用贝塞尔光束在玻璃基板上刻划玻璃样品轮廓和对准标记；对准标记位于样品轮廓外。

6.根据权利要求1或5所述的激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于：对准标记位于包围玻璃样品轮廓线的长方形四个顶角处；所述对准标记为十字或正交的跑道图案。

7.根据权利要求1或5所述的激光加工玻璃片倒角的方法，其特征在于：激光为超快激光；超快激光为皮秒激光或飞秒激光；激光波长为近红外的激光或可见激光或紫外激光。

8.一种激光加工玻璃片的方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用权利要求1所述的方法加工玻璃片倒角；

倒角后进行脱模，得到加工好的玻璃盖板。

9.一种激光加工玻璃片倒角的系统，其特征在于：包括振镜扫描激光系统、相机以及用于承载待加工样品的样品台，振镜扫描激光系统的振镜扫描的扫描线设置为多组同形扫描线，利用这些同形扫描线对切割线进行多次扫描完成倒角，所述相机用于抓取样品台上的待加工样品上的对准标记，获得待加工样品的位置坐标，根据得到的位置坐标，确定扫描线的位置，保证扫描线与切割线对准。

10.根据权利要求9所述的激光加工玻璃片倒角的系统，其特征在于：振镜扫描激光系统包括激光器、扫描振镜，激光器发射的激光束经过扩束镜后发射至扫描振镜，所述扫描振镜用于将激光束偏转后从场镜射出至待加工样品的上端面或下端面。