[发明专利]一种Y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机

说明书

本发明涉及一种Y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，包括基座，基座上沿X轴设有X轴模组，X轴模组上安装有R轴组件，位于X轴模组两侧的基座上设有双龙门架，双龙门架的两横梁顶部沿Y轴设有Y轴模组，所述Y轴模组上安装有Z轴模组，所述Z轴模组的下部设有伸入双龙门架之间间隔处、位于所述R轴组件上的主轴组件；所述Y轴模组的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两Y轴导轨，两Y轴导轨上通过滑块组件安装有Y轴滑台。本发明整体结构受力稳定，不易发生变形，能有效减少震动等产生精度不稳定的风险。

技术领域

本发明涉及龙门式划片机装置技术领域，尤其是一种Y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机。

背景技术

现有砂轮划片机主要分为悬臂式和龙门式两种不同结构形式，加工小尺寸工件比如4～6寸晶片的设备多为悬臂式，其主轴是悬伸于转台之上的；而加工8寸以上大尺寸工件的设备多为龙门式，其Y轴通过固定的龙门架跨于X轴之上，避免了主轴悬伸于转台之上的情况，因而比悬臂式具有更高的刚度和结构稳定性。

现有龙门式划片机，Y轴导轨布局形式为：两根导轨平行布局在龙门架的侧面，采用侧装悬挂的结构方案，此种形式下由于Y轴导轨组件是侧向安装，重心倾向于一侧，结构受力完全是侧向受力，受力不平衡影响结构刚度。且此类划片机多采用单龙门非中心对称结构，散热、震动对系统结构的稳定性影响大；由于划片机很多应用场合需要较高精度，如硅晶圆的切割要求200mm行程内定位精度在2um以内，结构强度，零件变形，震动，热影响等因素都会硬想设备系统的精度，因此由于结构受力不平衡，易发生变形，震动等产生精度不稳定的风险。同时，此类结构对传动零件，紧固零件具有很高的质量要求，增加生产成本。

发明内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的Y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，从而提高划片机整体结构的受力稳定性。

本发明所采用的技术方案如下：

一种Y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机，包括基座，基座上沿X轴设有X轴模组，X轴模组上安装有R轴组件，位于X轴模组两侧的基座上设有双龙门架，双龙门架的两横梁顶部沿Y轴设有Y轴模组，所述Y轴模组上安装有Z轴模组，所述Z轴模组的下部设有伸入双龙门架之间间隔处、位于所述R轴组件上的主轴组件；所述Y轴模组的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两Y轴导轨，两Y轴导轨上通过滑块组件安装有Y轴滑台。

作为上述技术方案的进一步改进：

Y轴滑台的顶面上通过Z向支架安装所述Z轴模组，其结构为：包括沿Z轴平行间隔设于所述Z向支架侧面的两Z向导轨，两Z向导轨上通过滑块组件滑动安装有Z轴滑台，所述Z轴滑台底部沿Y轴延伸有横向折弯部，其底面上通过主轴连接座安装有切割主轴。

X轴模组的结构为：包括X向底板，所述X向底板上安装有两平行间隔沿X轴延伸的X向导轨，两X向导轨上通过滑块组件滑动安装有固定R轴组件的X向滑台。

R轴组件的结构为：包括三角水平调节板，所述三角水平调节板与直驱回转电机连接，所述直驱回转电机的输出端安装有真空陶瓷吸盘。

位于两X向导轨之间的X向底板上安装有X向丝杆，其上通过与其旋接的丝杆螺母与所述X向滑台连接，X向丝杆一端与X向电机传动连接。

位于两Z向导轨之间的Z向支架上安装有Z向电机，其输出轴与Z向丝杆传动连接，所述Z向丝杆上旋接有与所述Z轴滑台连接的Z向螺母组件。

位于其中一侧横梁的顶部安装Y轴丝杆，其一端与Y轴电机传动连接，另一端通过轴承支架固定，所述Y轴丝杆上旋接有位于所述Y轴滑台底部与其连接的Y轴螺母。

本发明的有益效果如下：

本发明结构紧凑、合理，操作方便。