[发明专利]一种efuse熔丝的版图结构

权利要求书

1.一种efuse熔丝的版图结构，其特征在于，该版图结构至少包括：

自下而上叠放的多个金属层；所述多个金属层中每两层金属层之间设有单个通孔；

所述每两层金属层之间的单个通孔在垂直方向上彼此投影完全重叠，并且与所述多个金属层构成串联结构，所述串联结构构成熔丝本体；位于最上层的所述金属层上设有与最上层所述通孔连接的焊盘；位于最下层的所述金属层上设有与最下层所述通孔连接的焊盘。

2.根据权利要求1所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述自下而上叠放的金属层有六层，其中自下而上依次为第一至第六金属层。

3.根据权利要求2所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一、第二金属层之间设有的所述单个通孔为第一通孔；所述第二、第三金属层之间设有的所述单个通孔为第二通孔；所述第三、第四金属层之间设有的所述单个通孔为第三通孔；所述第四、第五金属层之间设有的所述单个通孔为第四通孔；所述第五、第六金属层之间设有的所述单个通孔为第五通孔。

4.根据权利要求3所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：位于最上层的所述金属层为第六金属层，该第六金属层上设有与所述第五通孔连接的第一焊盘；位于最下层的所述金属层为第一金属层，该第一金属层上设有与所述第一通孔连接的第二焊盘。

5.根据权利要求4所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一至第五通孔为横截面形状和大小都相同的结构。

6.根据权利要求5所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一至第五通孔的横截面形状为正方形。

7.根据权利要求6所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述横截面为正方形的所述第一至第五通孔的横截面边长为50nm。

8.根据权利要求7所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一和第二焊盘的横截面形状大小相同。

9.根据权利要求8所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一和第二焊盘的横截面形状为矩形。

10.根据权利要求9所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一至第五通孔投影到所述第一、第二焊盘的其中三条边的距离相等。

11.根据权利要求10所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一至第五通孔投影到所述第一、第二焊盘的其中三条边的距离为所述通孔横截面边长的2倍。

12.根据权利要求1或11所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于：所述第一、第二焊盘部分投影重叠。