[发明专利]一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具

权利要求书

1.一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，基板和固定板分别贴合在样品的正反面；

其中基板的顶部设置有准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；

所述样品的截面和所述固定板的顶面均贴附于所述准直板的下表面；

固定所述样品，所述样品的截面露出待测部分，然后放在样品台上进行测试；

其中，所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。

2.根据权利要求1所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，所述准直板为两个，分别设置在所述基板的两端。

3.根据权利要求1所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，所述准直板为两个，所述准直板与所述基板的顶部沿与所述准直板延伸方向垂直的方向可滑动连接。

4.一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，包括基板和固定板；

所述基板的顶部设置有至少一个准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；

所述固定板和所述基板之间设置有连接结构；

所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。

5.根据权利要求4所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，所述准直板为两个。

6.根据权利要求5所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，所述准直板分别固定设置在沿所述与所述准直板延伸方向垂直的方向的所述基板的顶部的两端。

7.根据权利要求4所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，所述准直板与所述基板的顶部沿所述与所述准直板延伸方向垂直的方向可滑动连接。

8.根据权利要求4-7任一项所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，所述基板和所述固定板上均设置有一个以上通孔，所述通孔中通过放入连接件连接所述基板和所述固定板而将样品固定。

9.根据权利要求8所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，在所述基板和所述固定板上对应地设置两排三列所述通孔，所述通孔均匀分布在所述基板和所述固定板上。

10.根据权利要求8所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，所述连接件为螺栓和螺母。