[发明专利]一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置

权利要求书

1.一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，包括主体、第一抽排开口、第二抽排开口、注气开口以及缓冲腔，其特征在于：所述主体朝向衬底的一面从径向内侧到外侧依次分别周向布置第一抽排开口、第二抽排开口以及注气开口；所述第一抽排开口和所述第二抽排开口之间具有沿径向向外截面扩大的流道；所述第二抽排开口与所述注气开口之间具有与所述第二抽排开口连通并位于其末端的缓冲腔。

2.根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述第一抽排开口附近的负压略弱于所述第二抽排开口附近的负压。

3.根据权利要求2所述的一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：浸没流场中的流动处于稳定状态时，没有浸液流入所述第二抽排开口，没有密封气体流入所述第一抽排开口。

4.根据权利要求4或5所述的一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述注气开口到所述浸液供给回收装置外边缘的距离至少是所述注气开口到所述抽排开口的距离的4倍。

5.根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述缓冲腔具有适应弯液面形状的弯曲边缘。

6.根据权利要求1～5中任一权利要求所述的一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述抽排开口与所述注气开口之间的端面具有到衬底的最小距离。

7.根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：第一抽排开口和第二抽排开口之间的端面具有台阶结构。